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鍍膜工藝(yì)設計

作者: 來源(yuán): 日期:2020-11-23 11:28:29 人氣:11275

鍍膜工藝之設計應著重考慮不同(tóng)薄膜材料之間需要不同的沉積工藝,

不同濺射技(jì)術的實施(直流、中頻(pín)、射頻、脈(mò)衝、反應濺射,以及它們之間的結合而發展的技(jì)術,或(huò)者新(xīn)技術(shù)的應用等),

同種技術不(bú)同工藝參(cān)數的(de)調(diào)整(功率,氣壓,沉積方式(shì)等),前處理(清洗、預熱(rè)等),後處理(熱(rè)處理等)。

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