對於真空(kōng)鍍膜機(jī)設備的分類,到底(dǐ)了(le)解多少?
真空鍍(dù)膜機主要指一類需要在較高真(zhēn)空度下進行的鍍膜設備,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機、磁(cí)控濺鍍膜(mó)機射、
MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光(guāng)濺(jiàn)射沉積鍍膜機等很多種。
主(zhǔ)要是分成蒸發和濺(jiàn)射兩種。
在真空鍍膜設備中(zhōng)需要鍍膜的被(bèi)成為基片,鍍的(de)材料被成為靶材。
基片與靶材(cái)同在真(zhēn)空腔中(zhōng)。
蒸發鍍膜(mó)一般是加熱靶材使表麵組分(fèn)以原子團或離子形式被蒸發出來(lái),並且沉降在基片表麵,通過成膜過程形成薄膜。
真空鍍膜機對於濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,並使表麵組分以原(yuán)子團或離子形式被濺射出來,
並且最終(zhōng)沉積在基片表麵,經曆成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不鏽鋼、碳鋼或它們的組合製成的雙層水冷結構(gòu)。
根據工藝要求選擇不同規格及類型鍍膜設備,其類型有電(diàn)阻蒸發真空鍍膜設備(bèi)、電子束蒸發真空鍍膜設備、
磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。
夾具運轉形式有自(zì)轉、公轉及公轉+自轉方式,用(yòng)戶可根據片尺寸及(jí)形狀提出相應(yīng)要(yào)求,轉動的速度範圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調及變頻調速等。