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現(xiàn)代真空鍍膜機膜厚的測量及監控方法

作者: 來源: 日期:2016-01-12 16:12:17 人氣:105301
    最直(zhí)接的鍍膜控(kòng)製方法是石英晶體微量平衡法(QCM),這種儀器可以直接驅動蒸發源,通過(guò)PID控製循環驅(qū)動(dòng)擋板,保持蒸發速率。隻要將儀器與係統控製軟件(jiàn)相連接,它就可以控製整個的鍍膜過(guò)程。但是(shì)(QCM)的精確度是(shì)有限的,部分原因是由於它監控的是被(bèi)鍍膜的(de)質量(liàng)而不是其光學厚度。
    此外雖然QCM在較(jiào)低溫度下非常穩定(dìng),但溫度較高(gāo)時,它(tā)會(huì)變得(dé)對溫度非常敏(mǐn)感。在長時間的加熱過程(chéng)中,很難阻止傳感器跌(diē)入這個敏感區域,從而對膜層造成重大誤差。
    光學監(jiān)控是高精(jīng)密鍍膜的的首選監(jiān)控方(fāng)式,這是因為它(tā)可以更精確(què)地控製膜層厚度(dù)(如果運用得(dé)當)。精確(què)度的改進源於很多因素,但最根本的(de)原因是對光學厚度(dù)的(de)監控。
    OPTIMAL SWA-I-05單波長光學監(jiān)控係統,是采(cǎi)用間接測控,結合汪博士開發的(de)先進光學監控軟件,有效提高光學反應對膜厚度變化靈敏度的理論和方法來減少終極誤差,提(tí)供了反饋或傳輸的選擇模式和大(dà)範圍的監測波(bō)長。特別(bié)適合於各(gè)種膜厚的鍍膜監控包括非規整膜監控。
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