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磁控濺射膜厚均勻性(xìng)設計方法

作者: 來源: 日(rì)期:2020-11-09 10:56:38 人(rén)氣:19873

磁控濺射鍍膜是現代工業中不可缺少的技術之一,磁控(kòng)濺射鍍膜(mó)技術正廣泛應用於透明導電膜、光學膜、超硬膜、

抗腐蝕(shí)膜、磁性(xìng)膜、增透膜、減反膜以及各種(zhǒng)裝飾(shì)膜,在國防和國民經濟生產中的作用和地位日益強大。


鍍膜(mó)工藝中的薄膜厚度均勻性,沉(chén)積速率,靶材利用率等方麵的問題是(shì)實際生產中十分關注的。
解決這些實際問題的方法是對涉及濺射沉積過程的全(quán)部因素進行整體的優化設計(jì),建立(lì)一個濺射鍍膜的綜合設計係統。
薄膜厚度均勻性是檢驗(yàn)濺射沉積過程(chéng)的最(zuì)重要(yào)參數之一,因(yīn)此對膜厚均勻性綜合設計的研(yán)究具有重要的理論和應用價值。

磁控濺射技(jì)術發展過程中(zhōng)各項技術的突破一般集(jí)中在等離子體(tǐ)的產生以及對等離子體進行(háng)的控製等方麵。

通過對電(diàn)磁場、溫度(dù)場和(hé)空間不同種類粒子分布參數的控製,使(shǐ)膜層質量和屬性滿(mǎn)足各行業的要求。


膜厚均勻性與磁控(kòng)濺射靶的工作狀態息息(xī)相關(guān),如靶的刻蝕狀態,靶的電(diàn)磁(cí)場設計等,

因此,為保(bǎo)證膜厚均勻性,國(guó)外的薄膜(mó)製備公司或鍍膜設備製造公司都有各自的關於鍍膜設備(包括(kuò)核心部件“靶”)的整(zhěng)套設計方案。

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