浦元(yuán)真空帶你了解真空蒸發鍍膜法的概念(niàn):
1.基本原理(lǐ):真空蒸發鍍膜法(簡稱真(zhēn)空蒸鍍)是在真空室中加熱蒸發容(róng)器中待形成薄膜的原材料使其原子或分子從表麵氣化逸出,形成蒸汽流(liú)入射(shè)到固體(稱(chēng)為襯底或基(jī)片)表(biǎo)麵凝結形成固態薄膜(mó)的方法。
2.真空蒸鍍時尤其是對真空環境的要求更嚴(yán)格其原因有:
A.防止在高(gāo)溫下因空氣分子和蒸發源發生反應;
B.防(fáng)止因蒸發物質的分子在鍍膜室內與空氣分子碰撞;
C.防止空氣分子作為雜質混入膜內或者在薄膜中形成化合物;
3.設備:真空鍍膜室和真空抽氣係統兩大部分組成(chéng)。真空(kōng)鍍膜室內裝(zhuāng)有蒸發源、被蒸(zhēng)鍍材料、基片支架及基片等。