微信掃一掃 關注浦（pǔ）元最新動態！1. 電阻蒸發源蒸鍍發
A. 加熱：高熔點金屬做成適當形狀蒸發源，電流通過直接加熱（rè）。
B. 優點：結構簡單（dān）、造價便宜、使用可（kě）靠
C. 缺點：所能到到的最高溫度有（yǒu）限，加熱器壽命較短
D. 適合：熔點不太高，尤（yóu）其對膜層質量要（yào）求不大高（gāo）的大批量生（shēng）產。
2. 電子束（shù）蒸發源蒸（zhēng）鍍發
A. 蒸發材料放入冷水鉗鍋中，利用電子束加熱
B. 優（yōu）點：獲得更大能量密度，使高熔點材料蒸發且速度快，膜的純度較高，熱效率高。
C. 分類：環形（xíng）槍，直槍，e型槍和空（kōng）心陰極槍等幾種。
D. 適（shì）合：高熔點（diǎn），純度要求高的材料。