通俗的定義為在（zài）正常狀況下，其應用功能不會失效。

想要（yào）達到這個目的，一般而言這層薄膜必須具有堅牢的附著力、很低（dī）的內應力、針（zhēn）孔密度很少、夠（gòu）強的（de）機械性能、均勻的膜厚、以及足夠的抗化學侵蝕性。

薄膜的特（tè）性主要（yào）受到沉積過程、成膜條（tiáo）件、接口層的形成和基材的影響，隨後（hòu）的熱處（chù）理亦扮演（yǎn）重（chóng）要角色。 

沉積的（de）薄膜有內應力的存在，其來（lái）源為何? 

薄膜和基（jī）材之間的晶格失配 

薄（báo）膜和基材（cái）之間的熱膨脹係數差異 

晶界之間的互（hù）擠