真空鍍膜機是（shì）目前製作真空（kōng）條件應用最為廣泛的真空設備，一般用真空室、真空機組、電氣控製櫃三大部分組成，排（pái）氣（qì）係統采用（yòng）擴散泵+機（jī）械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold組成（chéng）。
下麵，詳細介紹真空鍍膜機的各部（bù）分組成及其工作原理：
1、真空主體：真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的（de）大小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等（děng），腔體由不鏽鋼（gāng）材料製（zhì）作，要求不生（shēng）鏽、堅實等，真空腔各部分有連接（jiē）閥，用來連接各抽氣泵浦。　　
2、輔助抽（chōu）氣係統：排氣係統（tǒng）為鍍膜機真空係統的重要（yào）部分，主（zhǔ）要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三（sān）大部分組成。此排氣係（xì）統采用"擴散（sàn）泵+機械泵＋羅（luó）茨泵＋低溫冷阱＋polycold"組成。排氣流程為：機（jī）械泵先將真空（kōng）腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態（tài），為擴散泵後（hòu）繼抽真空（kōng）提供前提，之後當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又（yòu）配（pèi）合油（yóu）擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。　
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