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PVD 工藝過程

作者: 來源: 日期:2016-10-19 8:38:29 人氣:5428
PVD 工藝(yì)過程
塗層(céng)技術及工藝流程(chéng)塗層技術及工藝(yì)流程塗層技術及工藝(yì)流程塗層技術(shù)及工藝流程     1.真(zhēn)空塗(tú)層技術的發展   真空塗層技術起步時間不(bú)長,國際上在上世紀六十年代才出現將CVD(化學(xué)氣相沉積)技術應用於硬質(zhì)合金刀具上(shàng)。由於(yú)   該技術需在高溫下進行(工藝溫度高於(yú) 1000ºC),塗層(céng)種類單一,局限(xiàn)性很大,因此,其發展初(chū)期未免差強(qiáng)人(rén)意。   到了上世紀七十年(nián)代末,開始(shǐ)出現 PVD(物理氣相沉積) 技術,為真空塗層開創了一個充滿燦爛前(qián)景的新天地,之後在短短的二、三十年間PVD 塗層技(jì)術得(dé)到(dào)迅(xùn)猛發展,究其原因,是因為其在真空密封的腔體內成膜,幾乎無任(rèn)何環(huán)境汙染問題,有利於環保;因為其能得到光亮、華貴的表(biǎo)麵(miàn),在顏色上,成熟(shú)的(de)有七彩色、銀色、透明色、金黃色、黑色、以及由金黃色到黑色之間的任何一種顏色(sè),可謂五彩繽紛,能(néng)夠(gòu)滿(mǎn)足裝飾(shì)性的各種需要;又(yòu)由於 PVD 技術,可以輕鬆得到其他方法難以獲得的高(gāo)硬(yìng)度、高耐磨性的陶瓷塗層、複合塗層,應用在工裝、模具上麵,可以使壽命成倍提高,較好地實現了低成本、高收益的效果;此外, PVD 塗(tú)層技術具有低溫、高能兩個特點,幾乎可以在任何基材上成膜,因此,應用範圍十分廣闊,其發(fā)展神速也就不足為奇。   真空塗層技術發展到了今天還出現了PCVD(物理化學氣相沉積(jī))、MT-CVD(中溫化學(xué)氣相沉積)等新技術,各種塗層設備、各種塗層工藝層出不窮,如(rú)今在這一領域中,已呈(chéng)現(xiàn)出百花齊放,百(bǎi)家爭鳴(míng)的喜人景(jǐng)象。   與此同時,我們還應該清醒地(dì)看到,真空塗層技術的發展又(yòu)是嚴重不平衡的。由於刀具、模具的工作(zuò)環境極其(qí)惡劣,對薄膜附著力的要求,遠高(gāo)於裝飾塗層。因而,盡管裝飾塗層的廠家已遍布各地,但能夠生產(chǎn)工模塗(tú)層的廠家並不多。再加上刀具、模具塗層售後服務的欠缺,到目前為止,國內大多數塗層設備廠家都不(bú)能提供完整的刀具塗層工藝技術(包括前處理工藝、塗層工藝、塗後處理工藝、檢測技術(shù)、塗層刀具和模具的應用技術等),而且,它還要求工藝技術人員,除(chú)了精通塗層的專業知識以外(wài),還(hái)應具有紮實的金屬材料與熱處理知識、工模塗層前表麵(miàn)預處理知識、刀具、模具塗(tú)層的合理選擇以及上機使用的技術   要求等,如果(guǒ)任一環節出現問(wèn)題,都會(huì)給使用者產生使用效果(guǒ)不理想這樣的結(jié)論。所(suǒ)有這些,都嚴重製(zhì)約了該技術在刀具、模具上的應用。   另一方麵,由於該技術是一門介乎(hū)材料學、物理學、電子、化學(xué)等學(xué)科的新興邊緣學科,而國內將其應用於刀具、模具生產領(lǐng)域(yù)內的為數不(bú)多的幾個骨幹廠家,大多(duō)走的也是一條從國外引進先進設備和工藝技術的(de)路子,尚需一個消化、吸收的過程(chéng),因此,國內(nèi)目前在該領域內的技術力量與其(qí)發展很不相稱,急需(xū)奮起直追。   2. PVD 塗層的基本概念及其特點   PVD 是英文“Physical Vapor Deposition”的縮寫形式(shì),意思是物理(lǐ)氣相沉積。我們現在一般地把真空蒸鍍、濺射鍍膜、離子鍍等(děng)都稱(chēng)為物理氣相沉積(jī)。   較為成熟的 PVD 方法主要有多弧鍍與磁(cí)控濺射鍍兩種方式。多弧鍍設備結(jié)構簡單,容易(yì)操(cāo)作。它的離(lí)子蒸發源靠電焊機電源供(gòng)電即(jí)可工(gōng)作,其引弧(hú)的過程也與(yǔ)電焊類(lèi)似,具體地說,在一定工藝氣壓下,引弧針與蒸發離子源(yuán)短暫接觸,斷開,使氣體(tǐ)放電。由於多弧鍍的成因主要是借助於(yú)不(bú)斷移動的弧斑,在蒸發源表麵上連續形(xíng)成熔池,使金屬蒸發後,沉(chén)積在基體上而得到薄膜層(céng)的(de),與磁控濺射相比,它不但有靶材利用率高,更具有金屬離子離化率(lǜ)高,薄膜與基體之間結合(hé)力強的優點。此外(wài),多弧鍍塗層顏色較為穩定,尤其是在做 TiN 塗層時,每一批(pī)次均容易得到相同穩定的金(jīn)黃色,令磁控濺射法望塵莫及。多弧鍍的不足之處(chù)是,在(zài)用傳統的(de) DC 電源(yuán)做低溫(wēn)塗層條件下,當塗層厚度達到0.3μm 時,沉積(jī)率與反射(shè)率(lǜ)接近,成膜變得非常困難。而且,薄(báo)膜表麵開始變朦。多弧鍍另一個不足之處是(shì),由於金屬(shǔ)是熔後蒸發,因此沉積顆粒較大(dà),致(zhì)密(mì)度低,耐磨性比磁控濺射法成膜差。   可見,多弧鍍(dù)膜與磁控濺射法鍍(dù)膜各有優劣,為了盡(jìn)可能地發揮它們各自的優越性,實現互補,將多弧技術與磁控技術合而為一的塗(tú)層機應運而(ér)生。在(zài)工藝上出現了多弧鍍打底,然後利用(yòng)磁控濺射法增厚塗(tú)層,最後再利用多弧鍍達到(dào)最終穩定的表麵塗層顏色的新方法(fǎ)。   大約在八十年代中後期,出現了熱陰極電子(zǐ)槍蒸發離子鍍、熱陰極弧磁控等離子(zǐ)鍍膜機,應用效果很好,使(shǐ)TiN 塗層刀具很快(kuài)得到普及(jí)性(xìng)應用(yòng)。其中熱陰(yīn)極電子槍蒸發離子(zǐ)鍍,利用銅坩堝加(jiā)熱(rè)融化被鍍金屬材料,利用鉭燈絲給工件加熱(rè)、除氣,利用電子槍增強離化率,不但可以得到厚度 3~5μm的TiN 塗層,而且其(qí)結合力、耐(nài)磨性均有不俗表現,甚至用打磨(mó)的(de)方法都難以除去。但是這些設備都隻適(shì)合於 TiN塗層,或純金屬薄膜。對於多元塗層或複合塗(tú)層,則(zé)力不從心,難以適應高硬度材料高速切   削以及模具應用多樣性的要求。   3. 現代塗層設備(均勻加熱技術、溫度測量(liàng)技術、非平衡磁控濺射技術、輔助陽極技術、中頻電源、脈衝技術) 現代塗層設備(bèi)主要由真空室、真(zhēn)空獲得部分、真空測量部分、電源供給部分、工藝氣體輸入係統、機械傳動部分、加熱及測溫部件(jiàn)、離子蒸發或濺射源、水冷係(xì)統等部分組成。   3.1 真空室   塗層(céng)設備主要有連續塗層生產線及單室塗層(céng)機兩種(zhǒng)形式,由於(yú)工模塗層對加熱(rè)及機械傳動部分(fèn)有較高要求,而且工模形狀、尺寸千差萬(wàn)別,連續塗層生產線通(tōng)常難以滿足(zú)要求,須采用單室塗層機。   3.2 真空獲得部分   在真空技術中,真空獲得部分是重要組成部分(fèn)。由於工模件塗層高附著力的要求,其塗層工藝開始前背景真空(kōng)度最好高於6mPa,塗層工藝結束後真空度甚至可達 0.06mPa 以上,因此合理選擇真空獲得設備,實現高真空度(dù)至關重要。   就目(mù)前來說,還沒有一種泵能從大氣壓(yā)一(yī)直工作到接近超高真空。因(yīn)此,真空的獲得不是一種真(zhēn)空設備和方法所能達到的,必須將幾種泵聯合使用,如機械泵、分子泵係統等(děng)。   3.3 真空測量部分(fèn)   真空係統的真空測量部(bù)分,就是要對真空室(shì)內的壓強進行測量。像真空泵一樣,沒有一(yī)種(zhǒng)真空計能測量整個真空範圍,人們於是按不同(tóng)的原理和要求(qiú)製成了(le)許多種類(lèi)的真空計。   3.4 電源供給部分靶電源主要有直流電源(如 MDX)、中頻電源(如美國 AE公司生產的 PE、PEII、PINACAL);工件(jiàn)本身通常(cháng)需(xū)加直流電源(如(rú) MDX)、脈衝(chōng)電源(如美國AE公司生產的 PINACAL+)、或射(shè)頻電源(RF)。   3.5 工藝氣體輸入係統   工藝氣體,如氬氣(Ar)、氪氣(qì)(Kr)、氮氣(N2)、乙炔(C2H2)、甲烷(CH4)、氫氣(H2)、氧氣(qì)(O2)等,一般均由氣瓶供應,經氣(qì)體減壓閥、氣體截止閥、管路、氣體流(liú)量計、電磁閥、壓電閥,然後通入真(zhēn)空室。這種氣體輸入(rù)係統的優點是,管路簡捷、明快,維修或更換氣瓶容易。各塗層(céng)機之間(jiān)互不影響。也(yě)有多台塗層機共用一組氣瓶的情況,這種情況在一些規模較大的塗層車間可(kě)能有機會看到(dào)。它的好處是,減少氣瓶占用(yòng)量,統(tǒng)一規劃、統一布局。缺點是,由於接頭增多,使漏氣機會增加。而(ér)且,各塗層機之間會互(hù)相幹擾,一台塗層機的管路漏氣,有可能(néng)會影響到其他塗(tú)層機的產品質量。此外,更換氣瓶時(shí),必須保證所有主機都處於非用氣(qì)狀態。   3.6 機械傳動部分   刀具塗層要求周邊必須厚度均勻一致,因此,在塗層過程中須有(yǒu)三個轉動量才能(néng)滿足要求。即在要求大工件台轉(zhuǎn)動(dòng)(I)的同時,小的工件承載(zǎi)台也轉(zhuǎn)動( II),並且(qiě)工件本身還能同時自轉(III)。   在機械設計上,一般是在大工件轉(zhuǎn)盤(pán)底部中央為一(yī)大的主動齒輪,周圍是一些小的(de)星行輪(lún)與之齧合,再用撥叉撥動(dòng)工件自轉。當然,在做模具塗層時,一般有兩(liǎng)個轉(zhuǎn)動量就足夠了,但是齒輪可承載量必須(xū)大大增強。   3.7 加熱及測溫部分   做工模塗層的時候,如何(hé)保(bǎo)證(zhèng)被鍍工件均勻加熱比(bǐ)裝飾塗   層加熱要重要得多。工(gōng)模塗層設備一般均有前後兩個加(jiā)熱器,用熱電偶測控(kòng)溫度。但是,由於熱電偶裝夾的為置不同,因而,溫度讀數不(bú)可能是工件的真實溫度。要想測得工件的真實溫度,有很多方(fāng)法(fǎ),這裏介紹一種簡(jiǎn)便易行的表(biǎo)麵溫度(dù)計法 (Surface Thermomeer)。該溫度計的工作原理是,當溫度計受熱,底部的彈簧將(jiāng)受(shòu)熱膨(péng)脹,使指(zhǐ)針推動定位指針旋轉,直到最高(gāo)溫度。降溫的時候,彈簧收縮,指針反向旋(xuán)轉(zhuǎn),但定位指針維(wéi)持在最高溫度(dù)位置不動,開門後(hòu),讀取定位指針(zhēn)指示(shì)的溫度,即為真空室(shì)內加熱時,表麵溫度(dù)計放置位置所曾達到的最高溫度值。   3.8 離(lí)子蒸發及濺射源(yuán)   多弧鍍的蒸發源(yuán)一般為圓餅(bǐng)形,俗稱圓餅靶(bǎ),近(jìn)幾年也出現了長方形的多弧靶,但未見有(yǒu)明顯效果。圓餅靶裝在銅靶座(陰(yīn)極座)上麵,兩者為羅紋連接。靶座中裝有磁鐵,通過前(qián)後移(yí)動磁鐵,改變磁場強度,可調整弧斑移動速度(dù)及軌跡。為了降低靶及靶座的溫度,要給靶座(zuò)不斷通入冷卻(què)水。為了(le)保(bǎo)證靶與靶座之間(jiān)的高(gāo)導(dǎo)電、導熱(rè)性,還可以在(zài)靶與靶座之(zhī)間加錫(Sn)墊片。磁控(kòng)濺射鍍膜(mó)一般采用長方形(xíng)或圓柱形靶材(cái),   3.9 水冷係統   因為工模(mó)塗層時,為了提高金屬原子(zǐ)的離化率,各個陰極靶座都盡(jìn)可能地采用大的功率輸出,需要充(chōng)分冷卻;而且,工模塗層中的許(xǔ)多種塗層,加熱溫度為(wéi) 400~500ºC,因此,對(duì)真空室壁、對各個密封麵的冷卻也很重要,所以冷卻水最好采用18~20ºC 左右的冷水機供(gòng)水。為了防止(zhǐ)開門後,低(dī)溫的真空室壁、陰極(jí)靶與熱的空氣接觸析出水珠,在開門前 10 分鍾左右,水冷係統應有能力(lì)切換到供熱水狀態,熱水溫度約為 40~45ºC。   4. 工模具PVD 的工作步驟   工模具 PVD 基本工藝流程可簡(jiǎn)述為(wéi):IQC→前處理(lǐ)→PVD→FQC,分別介紹如後。   4.1 IQC   IQC(In Quality Control)的主要工(gōng)作除了常(cháng)規的清點數量   ,   檢查圖紙與實物是否相(xiàng)符外,還須仔細檢查工件表麵,特別是(shì)刃口部位有(yǒu)無(wú)裂紋等缺陷。有時對於一些刀具、刀粒(lì)的刃口,在體式顯(xiǎn)微鏡下觀察,更方便發現問題;另(lìng)外,IQC 的人員還要注意檢查待鍍(dù)膜件有無塑膠、低熔點(diǎn)的焊料等,這些東西如果因漏檢而混入鍍膜程序,則將在真空室內嚴重放氣,輕者造成(chéng)整批產品脫塗層,重者使原本 OK 的產品報廢,後果不堪設想。   4.2 前處理(lǐ)工藝(蒸汽槍、噴砂、拋(pāo)光、清洗)   前處理(lǐ)的目的是淨化或粗化工件表麵。淨化就是要去(qù)除各種表麵玷汙物,製備潔(jié)淨表麵。通(tōng)常使用各種淨化劑,借助機(jī)械、物理或化學(xué)的方法進行淨化。   粗化與光蝕相反,其(qí)目的在於製備粗糙(cāo)的(de)表麵以提高噴塗層或(huò)塗料裝飾的結構強度。我們(men)現在已有的前處理主要方法為:高溫蒸洗、清洗、噴砂、打磨、拋(pāo)光等方法(fǎ)。   4.2.1   高溫蒸(zhēng)洗   目(mù)前,PVD 車間常用的高溫蒸洗設備是蒸汽槍。它的最大工作溫度可達 145?C,氣壓在 3~5 巴左右。由於模具中經常帶有(yǒu)一些細小(xiǎo)孔、螺紋(wén)孔,孔內中常常有油汙、殘餘冷卻液等(děng)雜質,用常規清洗的方法難以除去。此時,高溫蒸洗設備(bèi)便可(kě)最大程度的發(fā)揮(huī)它的優越性。   
4.2.2   清(qīng)洗   各廠工(gōng)模塗(tú)層前清洗程序(xù)大(dà)致如下:   1.超聲波除蠟→2.過水→3. 超聲波除油→4.過水→5. 超聲波自(zì)換(huàn)→6.過水(shuǐ)→7.過純水(shuǐ)→8.強風幹燥   具體實施時,與我們所熟悉的裝飾塗層前的(de)清洗(xǐ)又有許多不(bú)同。這是因(yīn)為裝飾(shì)塗層的底材大多為不鏽鋼或鈦合金,不容易生鏽。此外,裝飾塗層對水(shuǐ)印、點痣等缺陷是絕對不允許的。因此,裝飾塗層對純水(shuǐ)的(de)水質要求極高,甚至要達到 15MΩ 以上。要保證(zhèng)清洗的高質量,可(kě)以通過反複清洗,並在高質量(liàng)的純水加超聲波中長時間浸泡來得到。但是,工模的清洗就不同,尤其(qí)是(shì)一些熱做模具(jù)鋼,如果像裝飾塗層那樣去清洗,就(jiù)會鏽得一塌糊塗。   由於工模塗層的原始表麵狀態,除了一些高標準的鏡麵模具以外,一般較裝飾塗層要粗(cū)糙,因而,對塗層後的表麵狀(zhuàng)態的(de)要求(qiú)也不象裝飾(shì)塗層那樣高,這就允許我們采取快速(sù)過水,用幹燥(zào)、無(wú)油的壓縮空氣吹幹,然後對工模強風幹燥的方(fāng)法來處理。而那些(xiē)高標準的鏡麵模具,一般均為136 等不鏽鋼,可以借用裝飾塗層的清洗法。   總而言之,工模塗層前的清洗方法因工模所使(shǐ)用的材料(liào)的不同而不同,因工模塗層前的(de)表麵狀態的不同而不同,且不可千篇(piān)一律。下麵是幾種(zhǒng)材料生鏽由難到易(yì)的排(pái)序,供(gòng)參考:
不(bú)鏽鋼、硬質(zhì)合金、金屬陶瓷合金、DC53、高速鋼、8407 有一種自動清洗機型號為(wéi) CR288,產自德國。該機一次最大   清洗量為 80KG,主要用於清洗刀(dāo)具、小型零部件、或(huò)小(xiǎo)尺寸的模具。它共有三個清洗缸,裏麵的溶液分別為自來水+清(qīng)洗劑、自來水、去離(lí)子水(shuǐ)。除了常見的超聲(shēng)波、大水衝洗、噴淋、擺動、熱風幹燥等功能外,該機(jī)另(lìng)外一個優點是最後設有抽真空步驟,可以使水分盡(jìn)快揮發掉。   自動清洗機內存十種工藝,均由供方預先設定。一(yī)至九可分別用於不同類型的產品、不同的表(biǎo)麵狀態的淨化處理。第十種用於加注清洗劑。   4.2.3   噴砂   噴砂法是借助壓縮空氣使磨料強力衝刷工件表麵,從而去(qù)除鏽蝕、積碳、焊渣、氧化皮、殘鹽、舊(jiù)漆層等表(biǎo)麵缺陷。按磨料使用條件,噴砂分(fèn)為(wéi)幹噴砂與濕噴砂兩類(lèi)。   噴砂的工(gōng)藝參數主要有槍距、傾角(jiǎo)、裝夾台旋(xuán)轉速度、移(yí)動速度、行程、往返次數、噴砂時間、噴(pēn)砂氣壓。我們已使用過的參數有槍(qiāng)距:30~70mm; 傾角 30~70?C; 裝夾台旋轉速度 10~30;往返次數 3~9 次;噴砂氣壓:1.8~3.5 巴等。具體操作時,根據工件表麵髒汙程度,工件(jiàn)硬(yìng)度,工件表麵幾何(hé)形狀等因素,選取(qǔ)上下限。我(wǒ)們在幹噴砂機中所選用的磨料為玻璃珠,適合噴一些硬度介中的材(cái)料,如油鋼、模(mó)具等;在液體噴砂機中所選用的磨料為氧化鋁,硬度較高,適合噴一些硬度高的材(cái)料,如硬質合金(jīn)材料。對於(yú)工模塗層而言,噴砂所使用的磨料粒度也很(hěn)重要。如果磨料粒度過大,則工件表麵太粗糙;如果磨料粒度太小,又會(huì)降低(dī)衝擊力度,甚至嵌在工(gōng)件表麵,清洗難以去除,從而使工件塗層附著力降低。為(wéi)此,歐洲一些國家,對工模塗層前噴砂   所用磨料粒度做過仔細研究,嚴格到必須保證 85%以上的晶粒(lì)度在中 A、B 兩點範圍內才能使用。相比之下,我國(guó)磨料的供(gòng)應商還缺乏這方麵的共識,我們也(yě)很少有做(zuò)這(zhè)方麵的檢驗。   4.3 PVD 塗層工藝(加熱、離子清洗、塗層、冷卻、工藝氣體、氣壓、溫度、濺射功率)   4.4 FQC   FQC 的英文全拚為:“Function Quality Control”,意思是功能質量控製,它有別與(yǔ)一(yī)般意義上的 OQC(Out Quality Control) 。FQC 的內容主要包括外觀檢查、層深檢查、附著力檢查、耐磨性檢查、抗蝕性檢查、模(mó)擬性測試等方法。我廠目前應用的主(zhǔ)要有外觀檢查、層深檢查和附著力檢查。由(yóu)於我們(men)所接觸的產品大多都(dōu)是不允許做破壞性檢查的,因而我們在(zài)鍍膜時,每批都(dōu)會放進隨批試樣。做層深檢查和附(fù)著力檢查的時候,大多數情況(kuàng)下,實際上是對隨批試樣進行檢查。因為試樣(yàng)與產品(pǐn)在原材料、熱處理狀態、裝夾位置等方麵都難於一致,所以這樣檢測出的結果,與產(chǎn)品實(shí)際值會有一定的誤差。有時可能還會有相當大的誤差,隻能做參考使用。當然,必要的時候,我們也可以通過製作模擬件,達到準確測量的目的。  
 4.4.1   外觀檢
對於開(kāi)門取件後的(de)產品,應仔細檢查表麵有無裂紋、掉塗層、疏鬆(sōng)等缺陷。對於刀具、刀粒,還需在(zài)顯微鏡下仔細檢查它們的(de)刃(rèn)口(kǒu)狀態(tài)。   4.4.2   層深檢查   層深檢查有切片金相觀(guān)察法、X-ray 檢查法、用(yòng)單色光做光源(yuán)的光學(xué)測試法、球磨儀測試法等多種方法。工模(mó)塗層的層深檢查(chá)是在球磨儀上進行的。方法是先用直徑為 10mm 的鋼球與測試表麵滾磨,然後(hòu)在顯微鏡下測量磨痕的(de)有關數據,帶入公式中,即可方(fāng)便算出層深。   這種層深檢查法的特(tè)點是:方便適用(yòng),誤差稍大。但這種(zhǒng)誤(wù)差應用於工模上麵影響不會太大。有興趣(qù)的同事還可參(cān)閱有關的說明書。附著(zhe)力的檢查方法有很多,各個(gè)廠根據自己產品的特點,都製定了相應的檢測方法。其中,比較權威的(de)方法有兩(liǎng)種,一種是在洛氏硬度計上(shàng),以圓錐型金剛石壓頭做壓痕試驗(yàn),在顯微(wēi)鏡下觀察,以壓痕周(zhōu)邊裂紋的多少來判斷塗層附(fù)著力的高低。該方法對金剛石壓頭的形狀要(yào)求很高,不但嚴格(gé)要求中心點在圓的中心,而(ér)且金剛石圓錐的圓度必須十分規則。遺憾的是,目(mù)前,我國還沒有它(tā)的國家或行業標準;另一種方法是劃痕法,我國有些塗層發起較早(zǎo)的科研部門,也是(shì)采用的該方(fāng)法,有專門的國家行業標準(zhǔn)可供查詢。   5. 工裝夾具的處理   6. 塗後處理工藝(噴砂、塗脂技術,拋光處理)   7. 檢測技術(shù)(結合力(lì)的檢測、層深的檢測、酸蝕)   8. 塗層剝離技術(TiN/TiAlN 的剝離技術(shù)、CrN/DLC/CrAlTiN 的剝離技術、硬質(zhì)合金的(de)表麵塗層剝離技(jì)術)   9.塗層(céng)刀具的應用技術(塗層(céng)的正確選擇、塗層刀具的正確使用   塗層對刀具的優化非常大,由於高速切削加(jiā)工比(bǐ)傳統(tǒng)切削加工所產生的(de)溫(wēn)度要高,應用塗層,可以發揮其耐高溫(wēn)、抗氧化及加硬(yìng)材質(zhì)等作用。例如,氮化鉻(CrN)塗層可降低磨擦係數,改善光潔度及排屑情況 



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