真空鍍膜技術是真空應(yīng)用技術的一個重要分支(zhī),它已廣泛地應用於光學、電子學、能源開發(fā),理化儀器、建築(zhù)機械、包裝、民用製品、表麵(miàn)科學以及科學研究等領域中。真空鍍膜所采用的方(fāng)法主要有蒸發鍍、濺射(shè)鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等(děng)。此外還有化學氣相(xiàng)沉積法。如果從真空鍍膜的目(mù)的是為了改變物質(zhì)表(biǎo)麵的物(wù)理、化學性能(néng)的話,這一技術又是真空表麵處理技術中的重要組成(chéng)部分(fèn),其分類如表 6 所示。現(xiàn)就其幾個主要應用方麵做一簡單介紹。
首先在光學方麵,一塊光學玻璃或石英表麵上鍍一層或幾層不同物(wù)質的薄膜後,即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預期比例的反射或透射材料,也可以作成(chéng)對某種波長的吸收,而對另(lìng)一種(zhǒng)波長的透射的濾色(sè)片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各種激光器開始、一直到新型建築物的(de)大窗鍍膜茉莉,都很需(xū)要。增透膜則(zé)大量用於照(zhào)相和(hé)各種激光器開(kāi)始(shǐ)、一直到新型建築物的大窗鍍膜玻璃,都很需要。增透膜則大量用於照相機和電視攝象機的鏡頭上。
在電子學方麵真空鍍膜更占有極為重要的地位。各種規模的繼承電路。包括存貯器、運(yùn)算(suàn)器、告訴(sù)邏輯元件等都(dōu)要采用導電膜、絕緣膜和保護膜。作為製備電路的掩(yǎn)膜則用到鉻膜。磁帶、磁盤、半(bàn)導體激光器,約瑟夫遜器件、電荷耦合器件( CCD )也(yě)都甬(yǒng)道各種薄膜。
在顯示器件方麵,錄象磁頭、高密度(dù)錄象帶以及(jí)平麵顯示(shì)裝置的透明導電膜、攝像管光導膜、顯(xiǎn)示管熒光屏的鋁襯等也都(dōu)是采用真空鍍膜法製備。在元件方麵,在真空(kōng)中蒸發鎳鉻,鉻或金(jīn)屬陶瓷可以製造電阻,在(zài)塑(sù)料上蒸(zhēng)發鋁、一(yī)氧化矽、二氧化鈦等可以製造電容器,蒸發硒可以得到靜電複印機用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可以製造磁致伸縮的起聲元件等等。真空蒸發還可以用於製造超導膜和慣性約束巨變反應用的微珠鍍層。此外還可以對珠寶、鍾(zhōng)表外殼表麵、紡(fǎng)織品金屬花紋、金絲(sī)銀絲線等蒸鍍(dù)裝飾用薄膜,以(yǐ)及采用(yòng)濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等製造超硬膜。近兩年內(nèi)所興起的多弧離子鍍製備鈦金製品,如不鏽鋼薄板、鏡麵(miàn)板(bǎn)、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄杆等目前(qián)正在盛行。