排氣係統為鍍膜機真空係統的重要部分,主(zhǔ)要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。今(jīn)天
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機械泵是應用最廣泛(fàn)的一(yī)種低(dī)真空泵,它是用(yòng)油來(lái)保持密封效果並(bìng)依靠機械的方法不斷(duàn)的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲(huò)得真空。 機械泵有很多種,常用的有滑閥式(此主要應用於(yú)大型設(shè)備)、活(huó)塞往複式、定片式和旋片式四種類型。 機(jī)械泵常常被用來抽(chōu)除幹燥的空氣,但不能抽除含氧量過高、有(yǒu)爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被(bèi)用來抽除永久性的氣體,但是對水氣沒有好的效果,所以它不能抽(chōu)除水氣(qì)。旋片(piàn)泵中(zhōng)起主要(yào)作用的部件是(shì)定子、轉子、彈片(piàn)等,轉子(zǐ)在定子裏(lǐ)麵但(dàn)與定子不同心軸,象兩個內切圓,轉子槽內裝有兩片彈片,兩彈片中間裝有彈簧,保證了彈(dàn)片緊緊貼在定子的內壁。
它的(de)兩個彈(dàn)片交(jiāo)替起著兩(liǎng)方麵的作用,一方麵(miàn)從進氣(qì)口吸進氣體,另一方麵壓縮已經(jīng)吸(xī)進的氣體,將氣體排出泵(bèng)外。轉子每旋轉一周,泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當泵連續順時(shí)針轉動時,旋片泵不(bú)斷的通過進氣(qì)口吸入氣體,又從排(pái)氣口不斷的排出泵外,實現對容(róng)器抽氣的(de)目的。為(wéi)了提高泵的極限真空度,均(jun1)將(jiāng)泵的定子浸在油裏麵這樣,在各(gè)處的間隙中及有害空間裏麵經常(cháng)保持(chí)足夠的油,把空隙(xì)填滿,所以油一方麵起到(dào)了潤滑作用,另一方麵又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用,防止氣(qì)體分子通過各種(zhǒng)渠道反(fǎn)流到壓強低的空間去。
機(jī)械泵是從大氣(qì)開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速(sù)率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從大氣抽到(dào)1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從(cóng)大氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高(gāo)。
抽氣速率,是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數運轉時,單位時間內所能排出氣(qì)體(tǐ)的體(tǐ)積,可以用下公式計算:
Sth=2nVs=2nfsL
fs表示(shì)吸氣結束時空腔(qiāng)截麵積(jī),L表示空腔長度,係數表(biǎo)示轉子每旋(xuán)轉一周有(yǒu)兩次排氣過程(chéng),Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結(jié)束,此時空腔內的(de)體積最大,轉速為n。
機械泵排氣的效果還與電機的轉速及皮帶的鬆緊度有關(guān)係,當電機的皮帶比較鬆,電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所(suǒ)以(yǐ)要經常保養,點檢(jiǎn),機械泵油的密封效(xiào)果(guǒ)也需要常常點檢,油過少,達不到密封效果,泵(bèng)內會漏氣,油過多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和(hé)排氣,一般,在(zài)油位在線下0.5厘米即可。