油擴散泵的應用壓強範圍是10-1帕（pà）-10-7帕，它是利用氣體（tǐ）的擴散現象來排氣的，它具有結構（gòu）簡單，操作方便，抽速大（最高可以達到10+5升/秒）等特點。油擴散泵主要由泵殼、噴嘴、導流管和加熱器組成，裏（lǐ）麵主要添加擴散泵油（日本的型號（hào）是D-704#），根據噴嘴的多少可以分為單級泵（bèng）和多級泵。 

        擴散泵底部內儲存有擴散泵油，上部為進氣口，右側旁下（xià）部為出氣口，在工作時出氣（qì）口由機（jī）械泵提供前置壓強，機械（xiè）泵充當前置泵。 

        當擴散泵的油被電爐加熱時，產生的（de）油蒸汽提供前置壓強，機械泵充（chōng）當前置泵。當擴散泵油被電爐加熱時，產生的油蒸汽沿著導（dǎo）流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外（wài）麵有機械泵提（tí）供的（de）1-10-1帕的（de）真空，故油蒸汽可噴出一段距離，構成一（yī）個向出氣口方向運動的射流。射（shè）流最後碰上由冷卻水冷卻（què）的泵壁，凝結為液體，流回蒸發器，即靠油的蒸發——噴射——凝結，重複循環（huán）來實現抽氣的。 

         由進氣口進入泵內的氣體分（fèn）子，一（yī）旦落入（rù）蒸汽流中，便獲得向下運動的動量，向下飛去，由於射流具有高的流（liú）速（約200米/秒），高的蒸汽密（mì）度，且擴散（sàn）泵油具有（yǒu）高的分子量（300-500）故能有效的帶走氣體分子（zǐ），因此在射流的界麵內，氣體（tǐ）分子不可能長期（qī）滯留，且在射流界麵的兩邊，被抽氣體有很大的濃（nóng）度差，正是因為這個濃度差被抽氣（qì）體能不斷的越過界麵，擴散進入射流中，被帶往出口處（chù），在出口處再由機械泵抽走。 

         擴散泵的油蒸汽壓（yā）是（shì）決定泵的極限真空的重要因素，因此盡量選用（yòng）飽和（hé）蒸汽壓低的泵油，其化學特性（xìng）要好。 

         擴（kuò）散泵不能單獨（dú）用來抽氣，一般要求泵的（de）最大出口壓強為40帕。擴散泵（bèng）的（de）抽速決定於（yú）第一級噴嘴與泵體進氣口口徑間環（huán）形麵（miàn）積的大小，抽速不是（shì）一恒定的值，而是隨著進（jìn）氣口的壓強而變化的，當壓強在10-2～10-3帕的時（shí）候，擴散泵的抽氣速度是最快的（de），當壓強小於5*10-4帕（pà）之後，擴散泵的（de）抽氣速度最小，幾乎沒有抽氣能力（lì）（此時，進氣口的壓強較（jiào）高，由於空氣的（de）密度較大，使蒸汽（qì）流形成不了高速射流以阻擋空氣的反擴散，所（suǒ）以抽速下降）。 

        擴（kuò）散泵在安（ān）裝前要清洗，之（zhī）後才可以裝（zhuāng）入擴散（sàn）油，油在加熱前，必須要先對泵抽真空，停機前（qián）要先將（jiāng）擴散泵油（yóu）冷卻到60～70攝氏度，才可以關閉前級抽氣，最後（hòu）關（guān）冷卻水。 

       由於油擴散泵是無法杜絕有返油的（de）幾率，那麽沒有辦法保證精密產品的100％純淨，特別是半（bàn）導體行業，所以就有“高真空冷凝泵＋低真空機（jī）械泵”所組成的無油真空係統，冷凝泵組成的排氣係統不僅排（pái）氣效（xiào）率極高，而且有效保證真（zhēn）空（kōng）腔的（de）清潔，保證產（chǎn）品的質量（避免產品被汙染、增強膜層與基板之間的附（fù）著力），但是其維護（hù）成本非常的高，造價昂貴，所以普及率沒有油擴散（sàn）泵廣泛。 

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