真空鍍膜機主要指一類（lèi）需要在較高真空（kōng）度（dù）下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控（kòng）濺射，MBE分（fèn）子束（shù）外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸（zhēng）發和濺射兩種。真空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的設備，對其操作程序的（de）了（le）解（jiě）是至關重（chóng）要的環節，在真空鍍膜機的具體操作過程中建議參照以下標（biāo）注說明：

        一、 檢（jiǎn）查（chá）真空鍍膜機各（gè）操作控製開關是否在"關"位置（zhì）。

        二、打開總電（diàn）源開關，設（shè）備送電。

        三、低壓閥拉出（chū）。開充氣閥，聽不到氣流聲後，啟動升鍾罩閥，鍾罩升起。

        四、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉（zhuǎn）動圓盤（pán）上。把鋁絲穿放在螺旋（xuán）加熱子內。清（qīng）理鍾罩（zhào）內各（gè）部位，保證無任何雜質汙物。

        五、落下鍾（zhōng）罩。

        六、啟動抽真空機械泵。

        七、開複合真空計電源(複合真空計型號:Fzh-1A)。

               1）左旋鈕"1"順時針旋轉至指向2區段的加熱位置。

               2）低真空表"2"內指針順時（shí）針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量（liàng）位置。

        八、當低真空表"2"內指（zhǐ）針再次順（shùn）時針（zhēn）移動至6.7Pa時，低壓閥推入（rù）。這時（shí）左旋鈕"1"旋轉（zhuǎn）至指向1區段測量位置。

        九、 真空鍍膜機開通（tōng）冷（lěng）卻水，啟動擴散（sàn）泵，加熱40min。

        十、低壓閥拉出。重複一次⑦動作程序:左下旋鈕"1"轉至指向2區段測量位置。低真空表（biǎo）"2"內指針順時針移動，當指（zhǐ）針移（yí）動至6.7Pa時，開高壓閥(閥杆（gǎn）順時針旋轉)。

        十一、等低真空表"2"內指針右移動至0.1Pa時，開規管燈絲開關。

                1）發射、零點測量鈕"9"旋轉至指向發射（shè）位（wèi）置。

                2）左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

        十二、 旋（xuán）轉發射調節鈕"4"，使高壓真空（kōng）表"5"內指針指向5。

        十三、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向零點位置。

        十四、旋轉（zhuǎn）零點調節鈕"10"，讓高壓真空表"5"內指針指向0位置。

        十五、 發射、零點、測量旋鈕"9"旋轉至指向測量位（wèi）置。

        十六、旋轉標準調節鈕"3"，讓（ràng）高壓真空表"5"內（nèi）指針指向10。

        十（shí）七、旋轉"倍加器"開關鈕"8"至指向10-12，當高壓真空表"5"內指針逆時針左移（yí）超過1時，再把"倍加器（qì）"開關旋鈕"8"旋轉至指向10-3。

        十八、當高壓真空表（biǎo）"5"內指針逆時針移動（dòng）超過6.7Pa時，開工件旋轉鈕開關，鍾罩內（nèi）被鍍件PVDF膜轉動。

        十九、開蒸發鈕（niǔ）開關（guān）。把（bǎ）電流分插塞插入蒸發電極分配孔（kǒng）內(設（shè）有1、 2、 3、 4孔，可插入任意一（yī）孔)。

        二十、 右手旋轉右側調壓器（qì）手輪，慢慢旋轉升壓。

                  1）從視鏡窗口觀察鎢螺旋加（jiā）熱子（zǐ）的加熱溫度顏色變化情況。

                  2）當鎢螺旋加熱（rè）子顏色變成黃橙色（sè），鋁絲開始熔化時，左（zuǒ）手操（cāo）作擋板鈕，移開鎢螺旋上方擋板。

                  3）鋁絲全（quán）部熔化蒸發（fā），擋板回原位。

                  4）右手旋（xuán）轉調壓器手輪回零位（wèi）。第一次蒸鍍工作完成。

        二十一、 如果再想蒸鍍一次(為了增（zēng）加電極金屬層厚度):把電流（liú）分（fèn）插塞撥出插入另一個電極分配孔。重（chóng）複⑳操作動作。

        二十二、 關閉規（guī）管（guǎn）燈絲開關。關閉高壓閥(逆時針轉手（shǒu）柄)。關閉工件旋轉。關閉蒸發。旋轉機械泵鈕至指向擴（kuò）散泵位置。

        二十三、 低（dī）壓閥拉（lā）出。鍾罩充氣。充氣一段時間，當沒有氣.聲（shēng）時，升鍾罩。

        二十四、鎢螺（luó）旋加熱子（zǐ）內加鋁絲。PVDF薄膜調換另（lìng）一麵向下 (原下麵已鍍一層鋁膜麵向上)。緊（jǐn）固在轉（zhuǎn）動圓盤上。

        二十五、 落鍾罩。開機械泵。

                    1） 左下旋鈕"1"旋轉至指向2區段測量位置（zhì） 。

                    2）當低壓真空表"2"內（nèi）指針順（shùn）時針移動到6.7Pa時，低壓閥推入。

                    3） 左下旋鈕"1"旋轉至指向1區段測量位置。

                    4）當（dāng）低壓真空表"2"內指針順時針移動到6.7Pa時（shí），開高壓閥。旋鈕"1"旋（xuán）轉至指向（xiàng）2區段測量位置。

                    5）當低壓（yā）真空表"2"內指針順時針移動到指向0.1Pa時（shí），開規管燈絲。

                    6）由⑰開始（shǐ）重複操作至⑳ 。

        二十六、 正常（cháng）生產中，如遇到突然停（tíng）電時，要立即切斷高真（zhēn）空測量，關閉規管燈絲，高壓（yā）閥、低壓閥（fá）拉出。來電後，先讓機械泵啟動工作3~5min後，再轉入正常生（shēng）產。