磁控濺射膜常見故障的排除

膜層灰暗及發黑

(1)真空度低於 0.67Pa。應將真空度提高到 0.13-0.4Pa。

(2)氬氣純度低於 99．9％。應換用純（chún）度為 99．99％的氬氣。

(3)充氣係統漏氣。應檢查充氣係統，排除漏氣現（xiàn）象。

(4)底漆未充分固化。應適當延長底漆的固化（huà）時間。

(5)鍍件放（fàng）氣量太大。應進行（háng）幹燥和封（fēng）孔處（chù）理 膜層表麵光澤暗（àn）淡

(1)底漆（qī）固化不良或變質。應適當延長底（dǐ）漆的固化時間或更換底（dǐ）漆。

(2)濺射時間太長。應適當縮（suō）短。

(3)濺（jiàn）射成膜速度太快。應適當降低濺射電（diàn）流或電壓

膜層色澤不均

(1)底漆噴（pēn）塗得不均勻。應（yīng）改進底漆的施塗方法。

(2)膜層太薄。應適當提高濺射（shè）速（sù）度或（huò）延長濺射時間。

(3)夾具設計不合理。應改進夾具設計。

(4)鍍件的幾何形狀太複雜。應適當提（tí）高鍍件（jiàn）的旋轉（zhuǎn）速度

膜層發皺、龜裂

(1)底漆（qī）噴塗得太厚（hòu）。應（yīng）控製在 7—lOtan 厚度範圍內。

(2)塗料的粘度太高。應適當降低。

(3)蒸發（fā）速度太快。應適當減慢。

(4)膜（mó）層太厚。應適當縮短濺射時間。

(5)鍍件溫度太高。應適當縮短對鍍件的加溫時間

膜層表麵有水跡（jì）、指紋及灰粒

(1)鍍件清（qīng）洗後未充分幹燥。應加強鍍前處理。

(2)鍍件表麵濺上水珠或唾液。應加強文明生（shēng）產，操作者應帶口罩。

(3)塗底漆後（hòu）手接觸過鍍件，表麵留下指紋。應嚴（yán）禁用手接觸鍍件表麵。

(4)塗料中有顆粒物。應過濾塗料或更換塗料。

(5)靜電除塵失效或噴塗和固化環境中有顆粒灰塵。應更（gèng）換除塵器，並保持工作環境的清潔

膜層附著力不（bú）良

(1)鍍件除油脫脂不徹（chè）底。應加強鍍前處理。

(2)真空室內不清潔。應清洗真空（kōng）室（shì）。值（zhí）得注意的是，在裝靶和拆靶（bǎ）的過程中（zhōng），嚴禁用（yòng）手 或不幹（gàn）淨的物體與磁（cí）控源接觸，以保證磁（cí）控源具有較高的清潔度，這（zhè）是提（tí）高膜（mó）層結合力的 要措施之一。

(3)夾具不清潔。應清（qīng）洗夾具（jù）。

(4)底塗料選用不（bú）當。應更換塗料。

(5)濺射工藝條件控製不當。應改進濺（jiàn）射工藝條件