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真空鍍膜(mó)機的原理和各部件分析

作(zuò)者: 來源: 日期:2022-08-17 15:00:52 人氣:1425
真空鍍膜機的原理和各部件分析
真(zhēn)空鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的真空設備,一般用真空室、真空(kōng)機組、電氣控(kòng)製(zhì)櫃三大部分組成,排氣係統采用“擴散泵+機(jī)械(xiè)泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公(gōng)司專業從事真空鍍膜設備的研發(fā)與生產擁有經驗豐富的技術團隊及優質的(de)售後服務隊伍為您(nín)解決設備在(zài)使用過程中遇到的任何問題。下麵,詳細介紹真空鍍(dù)膜(mó)機的(de)各部分組成及其(qí)工作原理。
一、真空主體——真空腔(qiāng)根據加工產品要求的各異,真空腔的(de)大小也不(bú)一樣,目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等(děng),真空腔各部分有連接閥,用(yòng)來連接各抽氣泵浦。
二、輔助抽(chōu)氣係統 :排(pái)氣係統為鍍膜機真空(kōng)係統的重要部分,主要有由機械泵(bèng)、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三(sān)大部分組成。此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低(dī)溫冷阱+polycold”組成。排氣流程(chéng)為:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後(hòu)繼(jì)抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空腔的時候,機械泵又(yòu)配合油(yóu)擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。

機械泵:也叫前級泵,機械泵是應用廣(guǎng)泛的一種低真空泵,它是用油(yóu)來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變(biàn)泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體的(de)體積不斷膨脹從而獲得真空。
1.機械(xiè)泵的分類:機械(xiè)泵有很多種,常(cháng)用的有滑閥式(此主要應用於大型設備)、活塞往複式、定片式和旋片(piàn)式(此目前應用(yòng)最廣泛(fàn),本文主要介紹)四種類型。
2.機械泵是從大氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率(lǜ),此為(wéi)設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器(qì)從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2帕,甚至(zhì)更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所(suǒ)能排出氣體的體積,可以(yǐ)用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結(jié)束(shù)時空腔截麵(miàn)積,L表示空腔長(zhǎng)度(dù),係(xì)數表示(shì)轉子(zǐ)每旋(xuán)轉一周(zhōu)有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處於水平位置的(de)時(shí)候,吸氣結束,此時空(kōng)腔內的體積大,轉速為n。機械泵排氣的效果還與電機的轉速及(jí)皮帶的鬆緊度有關係,當電機的皮帶比較鬆(sōng),電機轉速很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以(yǐ)要(yào)經常保養,點檢,機械泵油的密封效果也需要常常點檢,油過少,達(dá)不到密封效果,泵內會漏氣,油過多,把吸氣(qì)孔堵塞,無法(fǎ)吸氣和排氣,一般(bān),在油位在線下0.5厘米即可(kě)。
3.機械(xiè)泵常常被用(yòng)來抽除幹燥的空氣(qì),但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除永久性的氣體,但(dàn)是(shì)對(duì)水氣沒有(yǒu)好的效果,所以它不能抽除(chú)水氣。旋片(piàn)泵中起主要作用(yòng)的部件是定子、轉子(zǐ)、彈片(piàn)等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,象兩個內(nèi)切圓,轉子槽內裝有兩片彈(dàn)片,兩彈片中間裝(zhuāng)有彈簧,保證了彈片緊(jǐn)緊(jǐn)貼在(zài)定子的內壁。
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