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真空蒸鍍、濺鍍、離(lí)子鍍

作者: 來源: 日期:2020-12-25 13:17:41 人氣:2435

真空蒸鍍、濺鍍、離子鍍(dù) 

真空鍍(dù)主要包括真空蒸鍍、濺射鍍和離子鍍(dù)幾種類型,它們都是采用在真空條件下,通過蒸餾(liú)或濺射等方(fāng)式在塑件表(biǎo)麵沉積各種金屬和非金屬薄膜,通過這樣的方(fāng)式可以得到非常薄的表麵鍍層(céng),同時具有速度快附著力好的突出優點,但是價格也較高,可以進行操作的金屬類型較少,一般用來作較高檔產品的功能性鍍層(céng)


真空蒸鍍法(fǎ)是在高真空下為金屬加熱,使其熔(róng)融、蒸發,冷卻後在樣品表麵形成金屬薄膜(mó)的方(fāng)法(fǎ),鍍層厚度為0.8-1.2um。將成形品表麵的微小凹凸部分(fèn)填平,以獲得(dé)如鏡麵一樣的表麵,無任是為了得到反射鏡作用而實施真空蒸鍍,還是對(duì)密接性較低(dī)的奪鋼進行真空蒸鍍時,都必須進(jìn)行底麵塗布處理。


濺鍍通常指的是磁控(kòng)濺鍍,屬於高速低溫濺鍍法(fǎ)。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態充入惰性氣(qì)體氬氣(Ar),並(bìng)在塑膠基材(陽(yáng)極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電(diàn),由於輝光(guāng)放電(glow discharge)產(chǎn)生的電子激發(fā)惰性氣體,產生等離子體,等離子體將金(jīn)屬靶材的原子(zǐ)轟出,沉積(jī)在(zài)塑膠基材上。一般金屬鍍膜大都采用直流(liú)濺鍍,而(ér)不導電的陶磁材料則使用RF交流濺鍍。


離子鍍是在真空條件下,利用氣體放電使(shǐ)氣體或(huò)被蒸發物質部分電離,並在氣體(tǐ)離子或被蒸發物質離子的轟擊(jī)下,將蒸發物質或其反應物沉積在基片上的方法。其中(zhōng)包括磁控濺射離子鍍、反應離子鍍、空心陰(yīn)極放電(diàn)離子(zǐ)鍍(空心陰極蒸鍍法)、多(duō)弧(hú)離子鍍(陰極電弧離子鍍)等

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