質量流（liú）量計，即MASS FLOW METER(縮寫為MFM),是一（yī）種精確測量氣（qì）體流量的儀表（biǎo），

其測量值不因溫度或壓力的波動而（ér）失準，不需要溫度壓力補償。

質量（liàng）流量控製器，即Mass flow controller(縮寫為（wéi）MFC），不（bú）但具有質（zhì）量（liàng）流量計的功能，

更重要的是，它能自動控製氣體流量，即用戶可根據需要進行流量設定，MFC自動地將流量（liàng）恒定在設定值上，

即使（shǐ）係統壓力有波動或環境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。

簡（jiǎn）單地說，質量流量控製器（qì）就是一個穩定裝置，是一個可以手動設定或與計算（suàn）機聯接自動控製的氣體穩流裝置。