低真空的獲(huò)得
獲得低真空常(cháng)采用(yòng)機械泵,機械泵是運用(yòng)機械方法不斷(duàn)地改變泵內吸氣空腔的體積,使被抽容器內(nèi)氣體(tǐ)的(de)體積(jī)不斷膨(péng)脹,從而獲得真空(kōng)的裝置。
它可以直接在大氣壓下開始工作,極限真空度一般為1.33-1.33x10-2pa, 抽氣速率與轉速(sù)及空腔體積V的大小有關,一般在每秒幾(jǐ)升到每秒幾十(shí)升之間。
高真空的獲得
目前,廣泛使用的獲得高真空的泵就(jiù)是擴(kuò)散泵。擴散泵是利用氣(qì)體擴散現象來抽氣的,它不能直接在大氣壓下工作,而需(xū)要一定的(de)預備真空度(1.33-0.133Pa)。
油擴散泵的極限真空度主要取決於(yú)油蒸汽壓和氣體(tǐ)分子的反擴散(sàn),一般能達到1.33x10-5---1.33x10-7pa。 抽氣(qì)速率與結構相關,每秒幾升--幾百升不(bú)等。