微（wēi）信掃一掃 關（guān）注浦元最新動態（tài）！等離子（zǐ）（plasma）是除固體、液體、氣體之外的第（dì）四種物質狀態，主要是由氣體在高電磁場作（zuò）用下發生（shēng）解離，形成一種包（bāo）括電子（帶負電），正離子（帶正電（diàn）），自由基和中性氣體分子組成的高活性物質（zhì），通產情況下會發光。
一般情況下，等離子中的正電荷（hé）數等於負電荷數（shù），所以整體呈電中性（Quasi-neutral）。日常生活（huó）中見到的閃電、日光燈（dēng）、霓虹燈就是等離子體發光現（xiàn）象。
等離子（zǐ）的產生有很多種（zhǒng）方法，但生成和維持都需要外部能量的輸入。
電子從外（wài）加電（diàn）磁場獲得能量，然後發生非彈性碰（pèng）撞產生激發（excitation）、解離吸附（fù）（dissociative attachment）、解離（dissociation）、離子化（ionization）、在結合（recombination）反（fǎn）應，由此產生二（èr）次電（diàn）子、原子、分子、離子等物質，然而在（zài）解離碰撞中，電（diàn）子可能與氣體離子有再結合作用，或者因為漂移及擴散而離開電（diàn）磁（cí）場範圍等原因消失，因此當電（diàn）子產生與消失（shī）的速率相等時，此時的plasma即為穩（wěn）定狀（zhuàng）態（tài）。這裏列舉四種ETCH常用產生plasma的（de）方法，後（hòu）麵會詳解介紹。
三、等離子體的參數 plasma parameters
平均自由路徑（Mean Free Path，MFP）：
粒子與粒子碰撞前能夠移動的（de）平均距（jù）離。MFP與環境壓力P呈（chéng）反比，壓力越高，MFP越短，壓力約低，MFP越長，這就是為什麽plasma產生要在（zài）低壓近似真空環境下產生，因為（wéi）在大氣壓（yā）力下（760Torr），電子的MFP很短，很難獲得（dé）足夠的能力來使用氣體離子化。