真(zhēn)空(kōng)鍍膜機是目前製(zhì)作真空條件應用最為廣泛的(de)真空設備,一般(bān)用真空室、真空機組、電氣控(kòng)製櫃三大工作原理。
真空主題--真空腔根據加工產品(pǐn)要求的各異(yì),真空(kōng)腔的(de)大小(xiǎo)也不一(yī)樣,目前應用最多的有直徑0.9M、1.3M,1.5M、1.8M等,腔體由不(bú)鏽鋼材料製作,要求不生鏽、堅實等,真(zhēn)空腔各部(bù)分有鏈接閥,用來鏈接各抽(chōu)氣泵浦。
輔助(zhù)抽氣係統:排氣(qì)係統為鍍膜機真空(kōng)係統的重要部分,主要有由機(jī)械泵(bèng)、增壓泵(主要介(jiè)紹羅茨泵(bèng))、油擴散泵三大部(bù)分(fèn)組成,此排氣係統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold組成”。
排氣流程為:機械泵先將(jiāng)真空腔抽至2.0*10-2pa左右的低(dī)真空狀態,為擴散泵後續抽真空提供前提,之後當擴散泵抽(chōu)真空的時候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯,已(yǐ)這樣的方式完成抽氣動作。
機械泵:也叫前級泵,機(jī)械泵(bèng)是應用最廣泛的一種低真空泵,它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積,使(shǐ)被抽容器內氣(qì)體的體積不(bú)斷膨脹從而獲得真(zhēn)空。