真空鍍膜機各(gè)部件以及(jí)原理分析
作者: 來源: 日期:2020-03-16 9:52:53 人氣:33570
真空鍍膜機的真空腔體----根據加工產品要求的差異,真空腔體大小也不一樣,目前(qián)應(yīng)用比較多的有直徑0.9M、1.3M、1.5M、1.8M等。腔體由不鏽鋼材料製作(zuò),要(yào)求不生鏽、堅實,真空腔體各部分有鏈接閥,用來(lái)鏈接(jiē)各抽氣泵浦。
真(zhēn)空鍍膜機的輔助抽氣係統:排氣係統為鍍膜(mó)真空係統的重要(yào)組成部分,機械泵、增壓泵/羅茨泵、擴散泵三大部分(fèn)組成。這個(gè)排氣係統為:擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫(wēn)冷阱+polycold。排氣流程:機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2PA左右的低真空狀態,為擴散泵後續抽真空提供前提,之後當擴散泵抽真空的時(shí)候,機械泵又(yòu)配合油擴散泵組成串聯,以這樣的方式完成抽氣動作。
真空鍍膜機的機械原理以及其(qí)分(fèn)類:
機械泵(bèng):也叫前級泵,機械泵是(shì)應用很廣的一(yī)種低真空泵,它是用(yòng)油來保持密封效(xiào)果並依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,使被抽容器(qì)內氣體體積不斷膨脹從而獲得真空。
一.機械(xiè)泵的分類:機械泵有很多種,常用的有滑閥式(主要(yào)用於大型設備),活塞往複式(shì),定片式和旋片式(此目前運用很廣)
二.機械泵是從大氣(qì)開始工作的(de),它的主要參數有極限(xiàn)真空、抽氣速率、此為設計和選用機械(xiè)泵的重要依據,單級(jí)泵可以將(jiāng)容(róng)器從大氣抽(chōu)到1.0*10-1PA的極限真空,雙級泵可以將(jiāng)容器從大氣抽到(dào)6.7*10-2PA,甚至更高。抽氣(qì)速率(lǜ)是指旋片泵,按額定轉速運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積(jī),可(kě)用公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截麵積,L表示空腔長度,係數表(biǎo)示轉子每旋(xuán)轉一(yī)周有兩(liǎng)次排氣(qì)過程,Vs表示當轉子處於水平位置的時候,吸氣結束,此時(shí)空腔內的體積較大(dà),轉數為n。機械泵排氣的效果還與(yǔ)電機的轉數以及皮帶的鬆緊度有關,當電機的皮帶(dài)比較鬆,電機轉數很慢的時候,機械泵的排氣效果也會變差,所以要經(jīng)常保養,點檢,機械泵的密封效果也需要(yào)經常點檢,由過少,達不到密封效果,泵內會漏氣,油過(guò)多,把吸氣孔堵塞,無法吸氣和排氣,一(yī)般在油位(wèi)線下0.5厘米即(jí)可。
三.機械泵常常被用來抽除幹燥的(de)空氣,但(dàn)不能(néng)抽除含氧量過高、有爆炸和腐蝕性的氣體,機械泵一般被用來抽除長久性的氣體,但是(shì)對水氣沒有好的效果,所以它不(bú)能抽除水氣。旋葉泵中起主(zhǔ)要作(zuò)用的部件是定子、轉子、彈片等,轉子在定子裏麵但與定子不同心軸,像兩個內(nèi)切圓,轉子槽(cáo)內裝有兩片彈片,兩片彈片中間裝有彈簧,保證了彈(dàn)片緊緊貼在定子的內壁。