真(zhēn)空(kōng)電鍍設備膜厚的不均勻問題
作者: 來源(yuán): 日(rì)期:2017-10-25 16:07:52 人氣:4672
無論監控儀精(jīng)度怎樣,它也隻能控製(zhì)真空室裏單點位置的(de)膜厚,一般(bān)來講是工件架的(de)中間(jiān)位置。如果真空電鍍設備此位置的膜厚不(bú)是絕對均勻的,那麽遠(yuǎn)離中心(xīn)位置的基片就無法得到均勻的厚度。雖然屏蔽罩能消除表現為長期的不均勻性,但有些膜厚度的變化是由蒸發(fā)源的不(bú)穩定或膜(mó)材的不同表現而引起的,所以(yǐ)幾乎是不可能消除的,但對真空(kōng)室的結(jié)構(gòu)和蒸發源(yuán)的恰當選擇可以使這些影(yǐng)響最小化。
在過去幾年中,越來越多(duō)的用戶要求鍍膜(mó)係統製造(zào)廠家提供高性(xìng)能的小規格、簡便型光學鍍膜係統,同時,用戶對性能的要(yào)求(qiú)不僅沒有降低,反而有所提高,特別是在薄膜(mó)密度和保證吸水後(hòu)光譜變化最小化等方麵(miàn)。
現在(zài),係統的平均尺寸規格已經在降低,而應用小規格設備進行光學鍍膜的生產也已(yǐ)經轉變成(chéng)為純技術問題。因此,選用現代(dài)化光學(xué)鍍膜係(xì)統的關鍵取決於對以下因(yīn)素的(de)認真考慮:對鍍膜產品的預期性能,基片的尺寸大小和物理特(tè)性以及保證高度一(yī)致性工藝所必需的(de)所有技術因(yīn)素。