1、真空鍍膜設備每（měi）完成200個鍍膜程序以上，應清潔工作室一（yī）次。方法是:用燒堿(NaOH)飽（bǎo）和溶液反複擦洗真空室內壁，( 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以（yǐ）免灼傷)目的是使鍍上去的膜料（liào）鋁(AL)與NaOH發生反應，反應後膜（mó）層脫落（luò），並釋放出（chū）氫氣。再用清水清洗真空（kōng）室和用布沾汽油清洗（xǐ）精抽閥內的汙垢。
2、當粗抽泵（bèng）(滑閥泵，旋片（piàn）泵)連續工作一個月(雨（yǔ）季減半)，需更換新油。方法是:擰（nǐng）開放油螺栓，放掉舊油（yóu），再將泵啟動數秒，使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺（luó）栓，加入新（xīn）油至（zhì）額定量(油視（shì）鏡觀察)。連續使用半年以上，換（huàn）油時應將油蓋打（dǎ）開（kāi），用（yòng）布擦幹淨箱內汙垢。
3、擴散泵連續使用6個月以上，抽速（sù）明顯變慢，或操作失（shī）當，充入（rù）大氣，拆去聯結水管，卸下電爐盤，將一（yī）級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及（jí）泵膽清洗一遍，再用洗衣粉兌水清洗一遍，然（rán）後用清水徹底清洗幹淨，待水份揮發幹（gàn）以後，裝（zhuāng）好泵膽，加入（rù）新擴散泵油，並裝回機體，接好水管，裝好電爐盤，便（biàn）可以重新開機（jī）。在重新開機前，要注意檢漏工作。方法是:啟動維持泵，關好大門，數分鍾後，觀察擴散泵部分真空（kōng）度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢（jiǎn）查聯接處是否裝密（mì）封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患（huàn）後方可加熱，否則擴散泵（bèng）油會燒環，無法進入工作狀（zhuàng）態。

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