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真空鍍膜機比較片機構性能

作者: 來源: 日(rì)期(qī):2016-03-28 9:29:01 人氣:4137
        分析現有光學真(zhēn)空鍍膜機比較片機構(gòu)在使用過程(chéng)中存在的(de)問(wèn)題。根據現代光學真空鍍膜機的發展趨勢和實際生產中急需解決的問題,通過(guò)多方麵的研究分析,優化設計新一代的鍍膜機比較片結構,解決影響光學薄膜質量和超多層(céng)精密光(guāng)學薄(báo)膜鍍製(zhì)的問題,以提高薄膜的監控精(jīng)度,實現係統(tǒng)的自動控(kòng)製,提高光(guāng)學真空鍍膜機生產效(xiào)率(lǜ),降低生(shēng)產成本。使現代光學真空鍍膜機的結構配置及(jí)使用效果達到最佳。
  從上世紀八十年代以來,全球光電(diàn)科學(xué)技術發展與進步迅猛,我國研發光學真空鍍膜機設備,在引進消化吸收的基礎上,也迅速發展(zhǎn)起來。最近二十多年,我國逐漸成為全球(qiú)光學產品的加工基地,作為(wéi)光學產品的關(guān)鍵工序,也是最後一道工(gōng)序-- 鍍膜,要求越(yuè)來越高,真空鍍(dù)膜機性能(néng)和配置也必然要得到加強,提高設備質量、完善設備性能、提(tí)高生(shēng)產效率等(děng)問題就顯現出來,這就涉及到(dào)此類設備的改造、設計研發,要求相關(guān)技術人員去解決。
  真空鍍膜(mó)機比較片機構(gòu)就是該類設備的必不可少的關鍵部件,高端配置的設備對比較片機構要求越(yuè)來越高,它對(duì)鍍製多膜層的檢(jiǎn)測和生產效率有著重要的不可替代的作用。
        現有真空鍍膜機比較片機構
   國內低端的真空鍍膜機,從發展之初(chū)到近10年左右,大多還沿用(yòng)的該比(bǐ)較片結構(gòu),如圖1 所(suǒ)示。此比較片換位(wèi)機構,通常由(yóu)6 個獨立的直(zhí)徑Φ22mm 的比較片組成。該機構(gòu)主要由(yóu)1 個托盤16、三個(gè)支撐杆110 及1 個比較片盤18 組成,三個支撐杆110 對托盤16起固定、支撐的作用,比較片盤(pán)18 靠齒輪齧合把運動輸入使之旋轉撥片,三者配合就完成撥片(piàn)換位動作。由於一(yī)般的(de)鍍膜機真空室直徑尺寸(cùn)都不大,整個(gè)機構的直徑(Φ124mm)相比較就有些偏大,導致(zhì)工件(jiàn)盤上可(kě)裝載的鍍製(zhì)工件麵積比較小,並(bìng)且該機構隻可放置6 個(gè)比較(jiào)片13,直接影響生(shēng)產(chǎn)效率。
  該(gāi)結構的特點是:結構簡單,加工(gōng)製(zhì)造方便,安裝實施方便易行。缺(quē)點:該結(jié)構(gòu)直徑麵積比較大,影響裝載工件的數量;比價片放置數量少,降低了生產效率;強度和剛度有限,又由於該結構完全暴(bào)露(lù)在真空室內,真空室內高溫濺射磨料的影響,使轉動平(píng)穩性(xìng)、靈活性一般,傳動位置重複的一致性誤差較大,清洗維護頻(pín)繁。
  根據現有比較片結構在使(shǐ)用過程中暴露出的問題,對原(yuán)有通用鍍膜機比較片結構進行多次的改進,通過設(shè)計可重疊放置比(bǐ)較片存儲筒(tǒng),使(shǐ)比較片機構直徑(jìng)所占麵積減(jiǎn)小(xiǎo),但放置的比較片數量增加到20 片左右, 整個機構直徑縮小為Φ89mm。結果可增加較小工件鍍膜盤(pán)上裝載工件的數量,提高生產效率,還可以提高薄膜監控的精度,並降低對硬件係統的(de)要求,容易實現對係統的自動控製。
  具體動作實施,改進後多(duō)片(piàn)比較片機構的轉動,通過連(lián)接板23 和連接塊21 固定在真空室頂板上,比較片機構的旋轉運動,由旋轉密封軸把運動(dòng)輸入真空室內的大齒輪,帶動小齒輪所在傳動(dòng)軸24 的轉動,最終實現整個比(bǐ)較片機構的轉(zhuǎn)動(dòng)。比較片切換比較片時(shí),通過撥盤29 轉動一個工位,比較片存儲筒219 內落下一個比(bǐ)較片,到達預(yù)設的位置,同(tóng)時,切換的比(bǐ)較(jiào)片隨著工位轉動落(luò)在比較(jiào)片接受筒212 內,每切換一次,撥動一(yī)個工位。其中(zhōng),傳動(dòng)軸24、大齒輪、小齒輪和軸承座(zuò)組成的傳動機構來完成(chéng)撥盤轉動。

  其特點是:(1)減小比較片機構直徑的麵積,提高裝載鍍製工件(jiàn)的數量;(2) 增加比較(jiào)片的數量,提高生產效率,提高薄膜監控的精度,降低對硬(yìng)件係統的要求,係(xì)統容易實現(xiàn)自動(dòng)控製。缺(quē)點:該比較片(piàn)結構直徑小而長(Φ89×370),影響其使用的強度和剛(gāng)度;由(yóu)於該結構暴露在高溫濺射磨料的(de)真空室內,影響其轉動(dòng)平穩(wěn)性、靈活性,且轉動位置重複的一致性較差,維護清洗頻繁費工。

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