為盡量減小真空鍍（dù）膜機（jī）真空室形變帶來的影響，我們將導軌、絲（sī）杆等傳動件固定於一個剛性的中（zhōng）間層上，其（qí）與真空室底壁之間采用點、線、麵活性支撐，以吸收和隔離形變，並設置形變補償調節機（jī）構，在係統抽真空前，參照有限元計算提供的理論數據預設適當的補償量，以使（shǐ）其（qí）在真空（kōng）狀態下達到平衡。而這樣（yàng）的真空設計也使得現在的真空鍍膜機就（jiù）能夠讓鍍膜在真空環境下（xià）正常（cháng）進行，防止外界因素的影響（xiǎng）。
    而為（wéi）了驗證有限元計算的結果，對真空室的形變和補償（cháng）進行了測試。首先（xiān）將四隻千分表定位在工作（zuò）台安裝基點的真空（kōng）壁外側，當真空室由大氣抽到真空時，記（jì）錄各千分表的變化量，經歸一化處理後為用激光自準直儀調整形變補償。由水平調整的自準（zhǔn）直儀發出一（yī）束激光穿過真空室的（de）玻璃窗照射（shè）固定於工作台上的反射鏡，在大氣環境下（xià）調整形變補償調節機構，使反射光束進入（rù）自準直儀接收視場，記錄兩（liǎng）維角度偏差（chà）。這（zhè）些數據之後需要（yào）對其進行分（fèn）析處（chù）理（lǐ），得到測試結果。

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