1)、固定筒3 圓筒形狀、大直(zhí)徑、厚壁結構的設計和周向對稱的固定(dìng)方(fāng)式,可保證其有足夠的強度和剛度,同時,還可(kě)阻止高溫濺射磨料對其內(nèi)部零(líng)部件(jiàn)汙染,保證(zhèng)撥動盤15 轉動的靈活性(xìng)。
2)、圓形軸(zhóu)承座2 的設計,保證軸承座安裝(zhuāng)的密封性和垂直度;增大軸1 的直徑尺寸,加大軸承座2 中兩軸承的安裝間距,提高其自身(shēn)的強度和剛度,保證轉動過程中軸1 的剛度和撥動盤15的旋轉靈活性、位置重複(fù)的一致性。
3)、裝(zhuāng)載(zǎi)換位(wèi)機構,通過(guò)擴大支承盤16 的直徑,使該機構(gòu)在平麵方向的有效麵積增大,可(kě)安裝直徑大(Φ26.5mm)的比較片,有利於光路調整,提高光學薄膜質量;比較片12 由單片玻璃作為一個比較片單(dān)元,比較片采用空間立(lì)體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個比較片存儲筒13 內,實現(xiàn)一次可放置50~100 片比較片,解決
鍍膜機鍍製(zhì)多層精密光學薄膜,比(bǐ)較片數量少影響鍍膜層數和精度的問題。
4)、定位盤(pán)6 與槽型光藕17 的配合,通過槽(cáo)型(xíng)光(guāng)藕來感知定位盤上三個均分的120°狹縫,控製電機轉動停止。軸1 旋轉定位重複的一致性(xìng)得到保證,帶(dài)動撥動盤15 完成準確的撥片動作。
5)、 轉動密封饋(kuì)入機構引入威爾遜密封機構5,既保證電(diàn)機9 通過齒輪(lún)齧合帶(dài)動(dòng)軸1 的靈活轉動,又保證真(zhēn)空室對外(wài)部的密封作用。優化(huà)設計的真空鍍膜機多片式比較片裝置(zhì),其特點:(1)結構簡單,強度高(gāo),可靠性好;(2)比較片裝載數量大,生產效率提高(gāo),可鍍製超多層精密光學薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監控的(de)精度,降(jiàng)低對硬件係統(tǒng)的要求,係(xì)統容易實現自動控製;(4)維護保(bǎo)養費用低。
通過對真空鍍膜(mó)機多片式比較(jiào)片裝置的優化設計,保(bǎo)證了比較(jiào)片(piàn)機構撥片轉動的靈活性和重複的一致(zhì)性,解決了比較片有效麵(miàn)積小,光路(lù)調(diào)整不方便,光信號信(xìn)噪(zào)比差的問題,又解決了比較片裝載數量少的問題,可(kě)以使現有的(de)真空鍍膜機鍍製光學薄膜的質量大大提高,並(bìng)且30 層以上的光(guāng)學薄(báo)膜得以(yǐ)鍍製完成。實踐證明此比較片結構是有用的,可以在現代的光學真空鍍膜(mó)行業進行推廣和實施,