CJ係列磁控濺射真空鍍膜(mó)機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73809
CJ係列(liè)磁控濺射真空鍍膜(mó)機的磁控濺(jiàn)射工作原理,所謂(wèi)“濺射”就是用(yòng)荷能粒子(通常用氣體正離子)轟擊物體,從而引起物體表麵原子從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了這種現(xiàn)象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均勻電場(chǎng)和對數電場(chǎng)則分(fèn)別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電子在電(diàn)場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生碰撞。若電子具有(yǒu)足夠的能量(約為(wéi)30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速(sù)飛向陰極(濺射靶(bǎ))並以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光(guāng)罩(zhào)、手(shǒu)機按鍵外殼以及儀(yí)器儀表、塑料、玻(bō)璃(lí)、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜(mó)及工(gōng)模具的功能塗層,在鍍(dù)製超黑膜、純金裝飾膜(mó)、導電膜等領域有優勢(shì)。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子(zǐ)產生不同程度的注入現象,在基(jī)片上形(xíng)成一層濺射原子與基片原子相互(hù)溶合的偽擴散(sàn)層;
3)、製備特(tè)殊材料的薄膜,可以使用不同的(de)材料同(tóng)時濺射製(zhì)備(bèi)混合膜、化合膜,還(hái)可濺(jiàn)射成TiN仿金膜;
4)、膜層純度高,濺射膜層中不會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接(jiē)常溫冷鍍成膜(mó),節能(néng)省電,提高產能。
CJ係列磁(cí)控濺射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組(zǔ) | KT400擴(kuò)散泵機組 | KT500擴散泵機(jī)組(zǔ) | KT800擴(kuò)散泵機組(zǔ) | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機組 |
鍍膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子(zǐ)專用電源 |
充(chōng)氣係統 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 |
控製方(fāng)式 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或(huò)全自動 | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或(huò)全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體(tǐ)均按客戶實際工(gōng)藝要求設(shè)計訂做 |