CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機
日期(qī):2016-01-16 13:28:37 人氣:73790
CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺射(shè)工作原理,所謂“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣(qì)體正離子(zǐ))轟擊物體(tǐ),從而引起(qǐ)物體表麵原(yuán)子(zǐ)從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了(le)這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電(diàn)子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生(shēng)碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向(xiàng)陰極(濺射靶)並以高(gāo)能量(liàng)轟擊靶表麵,使靶材發生濺(jiàn)射。
廣泛應用於家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑(sù)料、玻(bō)璃(lí)、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜等(děng)領域有(yǒu)優勢。
1)、膜(mó)厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度(dù)均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注(zhù)入現象,在基片上形成一(yī)層濺射原子與(yǔ)基片原子相互溶合的偽擴(kuò)散層(céng);
3)、製備特殊(shū)材料的(de)薄膜,可以使用不同(tóng)的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金(jīn)膜;
4)、膜層純(chún)度高(gāo),濺射膜層中不會混入(rù)坩鍋加熱(rè)器材料的成份。
5 )、裝備(bèi)低溫離子輔助(zhù)源,無(wú)需加熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸(cùn) | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜(mó)係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助(zhù)離子專用(yòng)電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質(zhì)量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全(quán)自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手(shǒu)動或全自(zì)動 | 手動或全自動 | 手動(dòng)或全自(zì)動 |
極限(xiàn)真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以(yǐ)上(shàng)設備參(cān)數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實(shí)際工(gōng)藝要求設計訂做 |