CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機

日期(qī):2016-01-16 13:28:37 人氣:73790

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機(jī)

工作原(yuán)理

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機的(de)磁控濺射(shè)工作原理,所謂“濺射”就是用荷能(néng)粒子(通常用氣(qì)體正離子(zǐ))轟擊物體(tǐ),從而引起(qǐ)物體表麵原(yuán)子(zǐ)從母體中逸出的現象。早在1842年Grove在實驗室中就發現了(le)這種現象。磁控濺射靶采用靜止電磁場,磁場為曲線形,均勻電場和對數電場則分別用於平麵靶和同軸圓柱靶。電(diàn)子在電場作用下,加速飛向基片的過程中與氬原子發生(shēng)碰撞。若電子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電離出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電場作用下,加速飛向(xiàng)陰極(濺射靶)並以高(gāo)能量(liàng)轟擊靶表麵,使靶材發生濺(jiàn)射。 

應用範圍

廣泛應用於家電電器、鍾(zhōng)表、高爾夫球(qiú)頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑(sù)料、玻(bō)璃(lí)、陶瓷、磁磚等表麵裝飾性鍍膜及工模具的功(gōng)能塗層,在鍍製超黑膜、純金裝飾膜、導電(diàn)膜等(děng)領域有(yǒu)優勢。

產品特點

1)、膜(mó)厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍製預定厚度的薄膜,並且濺射鍍膜可以在較大的表麵上獲得厚度(dù)均勻的膜層(céng);
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注(zhù)入現象,在基片上形成一(yī)層濺射原子與(yǔ)基片原子相互溶合的偽擴(kuò)散層(céng);
3)、製備特殊(shū)材料的(de)薄膜,可以使用不同(tóng)的材料同時濺射製備混合膜、化合膜,還可濺射成TiN仿金(jīn)膜;
4)、膜層純(chún)度高(gāo),濺射膜層中不會混入(rù)坩鍋加熱(rè)器材料的成份。
5 )、裝備(bèi)低溫離子輔助(zhù)源,無(wú)需加熱直(zhí)接常溫冷鍍成膜,節能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺(jiàn)射真空鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸(cùn) Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT400擴散(sàn)泵機組KT500擴散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機(jī)組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組
鍍膜(mó)係統直流或中頻電源、鍍膜輔助(zhù)離子專用(yòng)電源
充氣係統質量流量計質量流量計質量流量(liàng)計質(zhì)量流量計質量流量計質量流量計質量流量計
控製方式手動或全(quán)自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手(shǒu)動或全自(zì)動手動或全自動手動(dòng)或全自(zì)動
極限(xiàn)真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以(yǐ)上(shàng)設備參(cān)數僅做參考,具體均(jun1)按客戶實(shí)際工(gōng)藝要求設計訂做
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