超大型板材管材真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:16:58 人(rén)氣:24337
超大型板材管材真空鍍膜機

工作原理

離子鍍(dù)是真空(kōng)室中,利用氣體放電或被蒸(zhēng)發物質部分離化(huà),在氣體離子或(huò)被蒸發物質粒子(zǐ)轟擊作用的同時,將蒸發物或反應(yīng)物(wù)沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技(jì)術和真空(kōng)蒸發三者有機結合起來,不(bú)僅能(néng)明顯地改進了膜質量,而(ér)且還擴大了薄膜的應用(yòng)範(fàn)圍。其優點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等(děng)。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區別。多(duō)弧離子(zǐ)鍍采用的是弧光放電,而並不是傳統離子鍍的輝光放電進行沉積。簡單的說,多弧離(lí)子(zǐ)鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發源,通過靶與陽極殼體之間的弧(hú)光放電,使(shǐ)靶材蒸發,從而在空間中形成等離子體,對基體進行沉(chén)積。

應(yīng)用範圍

可以鍍製不鏽鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜,也可鍍製合金膜或化合物(wù),如TiN\TiAlN\CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機(jī)主要針對大(dà)麵積(jī)五金工件鍍裝飾膜或者功(gōng)能膜,適合於在不鏽鋼板、不鏽鋼管、不鏽鋼門等工(gōng)件表麵鍍膜。

產品特點

1)、此類(lèi)設備真空(kōng)室最大尺寸能(néng)實現 φ5000X10000MM(長(zhǎng))
2)、是在大型板材、管材上鍍製各類裝飾膜層及功能膜膜層(céng)的適合設(shè)備。

技術參數表

HLB係列大型板材管材真空(kōng)鍍膜機     
型號HLB-1800HLB-2000HLB-3000HLW-2000HLW3000HLW-4000HLW-5000
真空室尺寸 Φ1800×2000MMΦ2000×2000MMΦ3000×3000MMΦ2000×6000MMΦ3000×6000MMΦ4000×8000MMΦ5000×10000MM
真空(kōng)機組雙KT800擴散泵機組雙(shuāng)KT1000擴(kuò)散泵機組雙KT1000擴散(sàn)泵機組*2套雙KT1000擴散泵機組雙KT1000擴散泵機組*2套雙(shuāng)KT1000擴散泵機組*2套(tào)雙KT1000擴散泵機組*4套
鍍膜係統專用多弧鍍膜電(diàn)源+多功能孿生磁環(huán)弧(hú)靶+柱形弧靶(可選配)
輔助鍍膜係統低溫離子(zǐ)輔助源(除(chú)工具鍍外無需(xū)加溫(wēn)係統)
充氣係(xì)統質量流量(liàng)計(jì)
控製方(fāng)式手動或全自動
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa5.0X10-4Pa
備(bèi)注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求(qiú)設計訂做(zuò)
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