GSF係(xì)列高(gāo)精密電(diàn)子束蒸發光(guāng)學真(zhēn)空(kōng)鍍膜機

日期(qī):2016-01-13 10:18:51 人氣(qì):25509
GSF係列高精密電子束蒸發光學真空鍍膜機

工作原理

GSF高精密電子(zǐ)束蒸發光學真空鍍膜機的工作原理是將膜(mó)材放入水(shuǐ)冷銅坩堝中(zhōng),直接利用電子束(shù)加熱,使膜材中(zhōng)的原子或分子從表麵(miàn)汽(qì)化逸出後入射到基片表麵(miàn)凝結成膜。電子束蒸發(fā)比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流密度大、蒸發速度快,製成的薄(báo)膜純度高。

應用範圍

光學鍍膜設備可鍍製層數較多的短波通、長(zhǎng)波通、增透膜、反射膜、濾光膜、分(fèn)光(guāng)膜、帶通膜、介質膜、高反膜、彩色反射(shè)膜等各(gè)種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係(xì)鍍膜(mó),也能滿足如汽車反光玻璃(lí)、望遠鏡、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍(dù)膜(mó)要求。配置(zhì)不同(tóng)的蒸發源、電子槍和離子源及膜厚儀(yí)可鍍多種膜係,對(duì)金屬、氧化物、化合(hé)物及其他高熔點膜材皆(jiē)可(kě)蒸鍍。

產品特點(diǎn)

1)、高精密光學鍍膜機配備有石英晶體膜厚儀、光學膜厚自動控製係統(tǒng),采用PLC與工業電腦配合自主研發的PY3100係統聯合實現對整個工作過程的全自動控製,可以實現無人(rén)值守,從(cóng)而提高了工作效率和(hé)保證產品質量的一致性和穩定性(xìng)。
2)、大抽速(sù)真(zhēn)空係統加配深冷裝置,優秀的動態真(zhēn)空能力,為複雜的光學膜係(xì)製備提(tí)供(gòng)了必要的(de)真空條件保障。
3)、蒸(zhēng)發分布穩定、性能可靠的E型電子槍,優化設計的蒸發(fā)源與工件架之間的位置關係,為(wéi)精密膜係的實現調工(gōng)了膜料蒸發(fā)分布方麵的保障。
4)、平穩而高速旋轉的工(gōng)件架轉動係統(tǒng),使工件架內外圈產品光譜曲線更(gèng)趨於一致(zhì)。
5)、適(shì)用於光學領域行(háng)業,大規模工業生產高端要求的廠商使(shǐ)用。

技術(shù)參數表

GSF高精密(mì)電子束蒸發光學真(zhēn)空(kōng)鍍膜機(jī)
型號GSF-800GSF-1200GSF-1400GSF-1600GSFW-1000GSFW-1200GSFW-1600
真空室(shì)尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真空機(jī)組KT400擴散泵機組(zǔ)KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵機組(zǔ)雙KT630擴散泵(bèng)機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電源或霍爾離子源
充氣係統壓強控製儀
控製方式半(bàn)自動或全自動(dòng)
膜厚監控係統石英晶體(tǐ)膜厚監控係統、光學(xué)膜厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參(cān)數僅做參考,具體均按客戶實際工藝要求設計訂做
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