CJ係列磁控濺射(shè)真空鍍膜機

日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73808

CJ係列磁控濺射真空鍍膜機

工作原理

CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所(suǒ)謂“濺射”就是用荷能粒子(通(tōng)常用氣體正離子(zǐ))轟擊物體,從而引(yǐn)起物體表麵原子從(cóng)母體中逸出的(de)現象。早在1842年Grove在實驗室中就發(fā)現了這種現象。磁控(kòng)濺射靶采用靜止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均(jun1)勻電場和對數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速飛向基片的(de)過程中與(yǔ)氬原子(zǐ)發生碰撞。若電(diàn)子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電(diàn)離(lí)出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛(fēi)向陰極(濺射(shè)靶(bǎ))並(bìng)以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。 

應用範圍

廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超(chāo)黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有(yǒu)優勢。

產品特點

1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可(kě)以在較大的表麵上獲得(dé)厚度(dù)均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特(tè)殊材料(liào)的(de)薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合(hé)膜,還可濺(jiàn)射(shè)成TiN仿金膜(mó);
4)、膜層純度高,濺射膜(mó)層中(zhōng)不(bú)會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節(jiē)能省電,提高產能。

技術參數表

CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機     
型號CJ-600CJ-800CJ-1000CJ-1200CJ-1400CJ-1500CJ-1600
真空室尺寸 Φ600×800MMΦ800×1000MMΦ1000×1200MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1500×1500MMΦ1600×1800MM
真空機組KT400擴散泵(bèng)機組KT500擴(kuò)散泵機組KT800擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散(sàn)泵機組雙KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍(dù)膜係統直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源
充氣係統質量流量計質量流量(liàng)計質量流量計質量流量計質量流量計質量流量計質量流(liú)量計
控製方式(shì)手(shǒu)動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動手動或全自動
極限真空5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa5X10-3Pa
備注以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做
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