CJ係列磁控濺射(shè)真空鍍膜機
日期:2016-01-16 13:28:37 人氣:73808
CJ係列磁控(kòng)濺射真空鍍膜機的磁控濺射工作原理,所(suǒ)謂“濺射”就是用荷能粒子(通(tōng)常用氣體正離子(zǐ))轟擊物體,從而引(yǐn)起物體表麵原子從(cóng)母體中逸出的(de)現象。早在1842年Grove在實驗室中就發(fā)現了這種現象。磁控(kòng)濺射靶采用靜止電磁場,磁(cí)場為曲線形,均(jun1)勻電場和對數電場則分別用於平麵(miàn)靶和同軸圓柱靶。電子在電場(chǎng)作用下,加速飛向基片的(de)過程中與(yǔ)氬原子(zǐ)發生碰撞。若電(diàn)子具有足夠的能量(約為30ev)時,則電(diàn)離(lí)出Ar+並產生電子,電子飛向基片,Ar+在電(diàn)場作用下,加速飛(fēi)向陰極(濺射(shè)靶(bǎ))並(bìng)以高能量轟擊靶表麵,使靶材發生濺射。
廣(guǎng)泛應用於家電電器、鍾表、高爾夫球頭、工藝美術品、玩具、車燈反光罩、手機按鍵外殼以及儀器儀表、塑料、玻璃、陶瓷、磁磚等表麵裝飾(shì)性鍍膜及工模具的功能塗層,在鍍製超(chāo)黑膜、純金裝飾膜、導電膜等領域有(yǒu)優勢。
1)、膜厚可控性和重複性好。能夠可靠的鍍(dù)製預定厚度的薄膜,並且濺(jiàn)射鍍膜可(kě)以在較大的表麵上獲得(dé)厚度(dù)均勻的膜層;
2)、薄膜與基片的附著力強。部分高能量的濺射原子產生不同程度的注入現象,在基片上形成一層濺射(shè)原子與基片原子相互溶合的偽擴散層;
3)、製備特(tè)殊材料(liào)的(de)薄膜,可以使用不同的材料同時濺射製備混合膜、化合(hé)膜,還可濺(jiàn)射(shè)成TiN仿金膜(mó);
4)、膜層純度高,濺射膜(mó)層中(zhōng)不(bú)會混入坩鍋加熱器材料的成份。
5 )、裝備低溫離子輔助源,無需加熱直接常溫冷鍍成膜,節(jiē)能省電,提高產能。
CJ係列磁控濺射真空(kōng)鍍膜機 | | | | | |
型號 | CJ-600 | CJ-800 | CJ-1000 | CJ-1200 | CJ-1400 | CJ-1500 | CJ-1600 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1500×1500MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散泵(bèng)機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT800擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍(dù)膜係統 | 直流或中頻電源、鍍膜輔助離子專用電源 |
充氣係統 | 質量流量計 | 質量流量(liàng)計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流(liú)量計 |
控製方式(shì) | 手(shǒu)動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 | 手動或全自動 |
極限真空 | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa | 5X10-3Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |