如何掌控真空鍍膜的均勻性
作者: 來源: 日期:2023-04-10 14:44:49 人氣:2198
如何掌控真空鍍膜的均勻性
我們(men)先來認(rèn)識下怎麽調試鍍膜機,因為掌握調試鍍膜機是使用鍍(dù)膜機的關鍵怎麽調試鍍膜機
1、測試設備的抽真空速度,在測試過程中檢查漏氣情況與(yǔ)各真空泵的性(xìng)能;
2、測試(shì)設備的密封性能,就是(shì)抽到極限後保壓(yā)1小時看(kàn)壓(yā)降是否達標,同時排除細小的(de)漏孔;
3、產(chǎn)品(pǐn)試作,檢(jiǎn)驗其他的性能,比如傳動、加熱、絕緣等等;
4、如果有工藝保證的話(huà)就繼續打樣並作測試。
5、所(suǒ)有(yǒu)的測試應作記錄,並有記錄人簽字以及有使用部門或工程部門的人確認簽字
怎麽掌控真空(kōng)鍍膜的(de)均(jun1)勻性?
由於車燈鍍膜機原理的不同分為很多種類,僅僅因為都需要(yào)高真空度而擁有(yǒu)統一名(míng)稱。所以對於不同原理的真空鍍膜,影(yǐng)響均(jun1)勻性的因素也不盡相(xiàng)同(tóng)。並且均勻性這個概念本身也會隨著鍍膜尺(chǐ)度和薄膜成分(fèn)而有著(zhe)不同的(de)意義,下麵分別說一下:
均勻性(xìng)主要體現在3方麵:
1、厚度上的均勻性,也可以理解為粗糙度,在光學薄膜的尺度上看(也就是1/10波長作為單(dān)位,約為100A),真空鍍膜的均勻性已經相當好,可以(yǐ)輕鬆將粗糙度控製在可見光波長的1/10範圍內,也就是(shì)說對(duì)於多弧離子(zǐ)鍍膜機的光學特性來說,真空鍍膜沒有任何障礙。但是如果是指原子層尺度上的均(jun1)勻度(dù),也就是(shì)說要(yào)實現10A甚至1A的表麵平(píng)整,是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術含量與技術瓶頸所在(zài)。
2、化(huà)學組分上的均勻(yún)性:就是說在(zài)薄膜中,化(huà)合物的原子組分(fèn)會由於尺度過小而很容易的產生不均勻特性,SiTiO3薄膜,如果(guǒ)濺控濺射鍍(dù)膜機過程不科學,那(nà)麽實際表麵的組分並不是SiTiO3,而(ér)可能是其他的比例,鍍(dù)的膜並非是想要的膜的化學成分,這也是真空鍍膜的(de)技術含量所在。
3、晶格有序度的均勻性:這決定了薄膜是單晶,多晶,非晶,是真空鍍膜技術中的熱點問題。
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