分析真空鍍膜機(jī)精密抽真空速度慢的原因
作者: 來源: 日期:2020-07-24 23:49:11 人(rén)氣:1063
分析(xī)真空鍍膜機精密抽(chōu)真空速度慢的原因
真空鍍膜機精(jīng)度抽速慢的原因主要從以下幾個方麵找(zhǎo)到:
首(shǒu)先,擴散泵可能不是(shì)很好。
解決方法:可以用電離計測量單擴散泵的(de)泵口,看單擴散泵的抽吸能達到多少,再看抽吸時間和極限,然後比較。
二、真空係統有輕微漏氣。
解決方法:需慢慢檢測泄漏,看抽真空時間是否能達標。
三、箱子太髒,太髒(zāng)的(de)氣體大。
解決方法:清洗紙箱
四(sì)、前級真空度不好,機械(xiè)泵或機械泵加羅茨泵的終 極(jí)真空度不(bú)好。
解決方法:可單獨用電阻計檢測前管。