SF係列電子束(shù)蒸發光學真空鍍膜機

日期:2016-01-13 10:14:16 人氣:24358
SF係列電子束蒸發光學(xué)真空鍍膜機

工作原理

電子束蒸發是將(jiāng)膜材放入水冷銅坩堝中,直接(jiē)利用電子束加熱,使膜材中的原子或分子從表麵汽化逸出後(hòu)入射到基片表麵凝結成膜。電子束蒸發比一般電阻加熱蒸(zhēng)發熱效(xiào)率高、束流密(mì)度大、蒸發速度快,製成的薄膜純(chún)度高。

應用(yòng)範圍(wéi)

光學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較多(duō)的短波通、長波通、增透膜、反射膜(mó)、濾光膜、分光膜、帶(dài)通膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各種膜(mó)係,能夠實(shí)現0-50層膜的膜係(xì)鍍膜,也能滿足如汽車反(fǎn)光(guāng)玻(bō)璃、、眼鏡片、光學鏡頭、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同(tóng)的蒸發源、電子槍和離子(zǐ)源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合物及其(qí)他高(gāo)熔點膜材皆可蒸鍍

產品特點

1)  光學鍍膜配備有石英晶體膜厚儀,采用PLC與觸摸屏係統聯(lián)合實現對整個工作過程的自(zì)動控(kòng)製,工作效(xiào)率和產品質量重複性一致性優良.
2)適用於光學領域行業,大規模工業生產要求的(de)廠商使用。

技術參數表

SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機    
型號SF-800SF-1200SF-1400SF-1600SFW-1000SFW-1200SFW-1600
真空室尺寸 Φ800×1000MMΦ1200×1400MMΦ1400×1600MMΦ1600×1800MMΦ1000×1100MMΦ1200×1400MMΦ1600×1800MM
真(zhēn)空機組KT500擴散泵機組KT630擴散泵機組雙KT630擴散泵機組雙(shuāng)KT630擴散泵機組KT500擴(kuò)散泵機組KT630擴(kuò)散泵機組雙KT630擴散泵機組
鍍膜係統電子槍(qiāng)蒸發源、鍍膜(mó)輔助(zhù)離(lí)子專用電源或霍爾離子源
充氣(qì)係統壓強控製儀
控製方式手動或(huò)半自動
膜厚監控係統石(shí)英晶體膜(mó)厚監控係統
抽氣速率5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min5×10-3Pa﹤15min
極限真空3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa3.0X10-4Pa
備注以上(shàng)設備參數僅做(zuò)參(cān)考,具體均(jun1)按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做
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