工作原理
應用(yòng)範圍(wéi)
產品特點
技術參數表
SF係列電子束蒸發光學真空鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真(zhēn)空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙(shuāng)KT630擴散泵機組 | KT500擴(kuò)散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍(qiāng)蒸發源、鍍膜(mó)輔助(zhù)離(lí)子專用電源或霍爾離子源 | ||||||
充氣(qì)係統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式 | 手動或(huò)半自動 | ||||||
膜厚監控係統 | 石(shí)英晶體膜(mó)厚監控係統 | ||||||
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上(shàng)設備參數僅做(zuò)參(cān)考,具體均(jun1)按客戶實際(jì)工藝要求設計訂做 |