工作原理
WJZ係列無介質獨立膜電阻蒸(zhēng)發真空鍍膜機的原理是在真空室中將金屬材料(鋁、鎳、錫等)利用電阻蒸發技術將材料汽化,汽化後的金屬分子產生(shēng)飛逸沉積(jī)於基材的表麵上形(xíng)成鋁、錫等純金屬薄膜層(céng),出(chū)爐後將膜層從特別的基材表麵可輕輕剝(bāo)落,形成無介質獨立性的厚度為2-3μm,具有一定彈性(xìng)、能夠隔離氣體和(hé)光線的(de)薄膜。
應(yīng)用範圍
產品特點
技術參(cān)數表
WJZ係列無介質獨(dú)立膜電(diàn)阻蒸發(fā)真(zhēn)空鍍膜機 | |||||||
型號 | WJZ-600 | WJZ-800 | WJZ-1000 | WJZ-1200 | WJZ-1400 | WJZ-1600 | WJZ-1800 |
真空室尺寸 | Φ600×800MM | Φ800×1000MM | Φ1000×1200MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1800×2000MM |
真空(kōng)機(jī)組 | KT300擴(kuò)散泵機組 | KT400擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵(bèng)機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT800擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電阻(zǔ)蒸發源+圓柱磁控多弧(可選配) | ||||||
鍍膜輔助係統 | 低溫離子鍍膜電源 | ||||||
充氣係統 | 質量(liàng)流量計 | 質量流量計(jì) | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 | 質量流量計 |
控製方式 | 手動或全自動 | ||||||
抽氣速(sù)率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極(jí)限真(zhēn)空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備(bèi)注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按(àn)客戶實際工藝要(yào)求設計訂做 |