GSF係(xì)列高精密(mì)電子(zǐ)束蒸發光學真(zhēn)空鍍膜機
日期:2016-01-13 10:18:51 人氣:25508
GSF高精(jīng)密電子束蒸發(fā)光(guāng)學真空鍍膜機的工作原理是將膜材放入水冷銅坩堝中,直接利用電子束加熱(rè),使膜材中(zhōng)的原子或分子從(cóng)表麵(miàn)汽化逸出後入射到基片表麵凝結成膜。電(diàn)子(zǐ)束蒸發比一般電阻加熱蒸發熱效率高、束流(liú)密度大、蒸發速度快,製成的薄膜純度高。
光(guāng)學鍍膜(mó)設備可鍍製層數較多的短波通、長(zhǎng)波通、增透膜、反射(shè)膜、濾光膜、分光膜、帶通(tōng)膜、介質膜、高反膜、彩色反射膜等各(gè)種膜係,能夠實現0-90層膜的膜係鍍(dù)膜,也能滿足如汽車反光玻璃、望遠鏡、眼鏡片(piàn)、光學鏡(jìng)頭(tóu)、冷光杯等產品的鍍膜要求。配置不同的蒸發源(yuán)、電子槍和離子源及膜厚儀可鍍多種膜係,對金屬、氧化物、化合(hé)物及其他(tā)高熔點膜材皆可蒸(zhēng)鍍。
1)、高精密光學鍍膜機配備有石英晶體膜厚儀、光學膜厚自動控製係統,采用(yòng)PLC與工(gōng)業電腦配合(hé)自主研(yán)發的PY3100係統聯合實現對整(zhěng)個工作(zuò)過程(chéng)的(de)全自動控製,可以實現無人值守,從而提高了工作效(xiào)率和保證產品質量的一致性和穩(wěn)定(dìng)性。
2)、大抽速真空係統加配深冷裝置,優秀的動態真空能(néng)力,為複雜的光學膜係(xì)製備提供了必要的真(zhēn)空條件保障。
3)、蒸發分布穩定、性能可靠的E型電子槍,優(yōu)化(huà)設(shè)計的蒸發源與工件架之間的位置關(guān)係,為精密(mì)膜係的實現調工了膜料蒸發分布方麵的保障。
4)、平穩而高速旋轉的(de)工件架轉(zhuǎn)動係統,使工件架內外圈產品(pǐn)光譜曲線更趨於一(yī)致(zhì)。
5)、適用於光學領(lǐng)域行業,大規模工業生產高端要(yào)求的廠商(shāng)使用。
GSF高精密(mì)電(diàn)子束蒸發光學真空鍍膜機 |
型號 | GSF-800 | GSF-1200 | GSF-1400 | GSF-1600 | GSFW-1000 | GSFW-1200 | GSFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT400擴散(sàn)泵機組 | KT630擴散泵(bèng)機(jī)組(zǔ) | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散(sàn)泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸發源、鍍膜輔助離子專用電(diàn)源或霍(huò)爾離子源(yuán) |
充氣係統 | 壓(yā)強控製儀 |
控製方式(shì) | 半(bàn)自動或全自動 |
膜厚監控係統 | 石(shí)英晶體膜厚監控係(xì)統(tǒng)、光學膜厚(hòu)監控係統 |
抽氣速率 | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參考,具體均按客戶實際工藝(yì)要求設計(jì)訂(dìng)做 |