當前位置(zhì):首頁|SF係列電子束蒸發光學真空鍍膜機
工作原理
應用範圍
產品特點
技術參(cān)數表
SF係列電子(zǐ)束蒸發光學(xué)真空鍍(dù)膜機 | |||||||
型號 | SF-800 | SF-1200 | SF-1400 | SF-1600 | SFW-1000 | SFW-1200 | SFW-1600 |
真空室尺寸 | Φ800×1000MM | Φ1200×1400MM | Φ1400×1600MM | Φ1600×1800MM | Φ1000×1100MM | Φ1200×1400MM | Φ1600×1800MM |
真空機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | 雙KT630擴散泵機組 | KT500擴散泵機組 | KT630擴(kuò)散泵機(jī)組 | 雙KT630擴散泵機組 |
鍍膜係統 | 電子槍蒸(zhēng)發源、鍍(dù)膜輔助離子專用電源(yuán)或霍爾離(lí)子源 | ||||||
充(chōng)氣(qì)係統 | 壓強控製儀 | ||||||
控製方式(shì) | 手動(dòng)或半自動 | ||||||
膜厚監控係統 | 石(shí)英晶體膜厚監控係統 | ||||||
抽氣(qì)速率(lǜ) | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min | 5×10-3Pa﹤15min |
極限真空 | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa | 3.0X10-4Pa |
備注 | 以上設備參數僅做參(cān)考,具體均按客戶實際工藝要求(qiú)設計訂做 |